溶膠—凝膠法制備PZT薄膜的研究.pdf_第1頁
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1、分類號：TB34UDC：6603常數(shù)編號溶膠一凝膠法制備PZT薄膜的研究THEST[1DY0FTHESoLGELPREPARATIoNoFPZTTHINFILM學位授予單位及代碼：量蠶型工盔芏(【‘!!g!!學科專業(yè)名稱及代碼：絲趕芏(Q艘i鯉2研究萬同：疊鹽自＆撾魁申請學位級別：亟指導教師：圭墮鲞副塾攫研究生：韭雪堡論文起止時陽J：!Q業(yè)：!!二：Q』Q：12摘要鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜材料因其具有良好的熱釋電、睚電，鐵屯及光電等特性，

2、在微電子學、光電子技術(shù)和微電子機械系統(tǒng)等高科披領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景，已經(jīng)受到人們廣泛關(guān)注和重視。本文采用溶膠一凝膠法制各均勻致密的鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜研究了在制備鋯鈦酸鉛薄膜過程中溶膠濃度、pH值、水含量及添加劑含量等主要工藝參數(shù)對PZT薄膜結(jié)構(gòu)和表面形貌的影響。本文在制備PZT潛麒的研究中，首先，為fl；|J番出均勻斂密的薄膜，盡量使得基片的晶格常數(shù)與PZT薄膜材料曲品格常數(shù)相匹配，本文選擇丁三種不同的基片，分別是All03陶瓷基

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