溶膠-凝膠法制備LiNbO-,3-薄膜的研究.pdf

1、鈮酸鋰(LiNbO3)晶體因具有優(yōu)良的電光、熱電、壓電、光折變和非線性光學效應(yīng)等一系列特殊性質(zhì)，成為目前用途最廣泛的新型無機材料之一。80年代末以來，光電子技術(shù)和薄膜制備工藝的飛躍發(fā)展，使得利用鈮酸鋰薄膜制成新一代光學集成器件成為可能。鈮酸鋰薄膜因其具有易于器件集成、體積小、響應(yīng)快等優(yōu)點正受到越來越多的關(guān)注。目前LiNbO3薄膜的制備方法主要有：濺射(sputtering)法、脈沖激光沉積(PLD)法、金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD

2、)法和溶膠-凝膠(sol-gel)法等。本課題是采用溶膠-凝膠法來制備鈮酸鋰薄膜。 在本研究中，以乙醇鋰(LiOC2H5)粉末和乙醇鈮(Nb(OC2H5)5)溶液為初始原料來制備鈮酸鋰粉末和鈮酸鋰薄膜。首先以無水乙醇為溶劑通過一定條件反應(yīng)合成雙金屬醇鹽LiNb(OC2H5)6，再在同樣的反應(yīng)條件下水解雙金屬醇鹽，得到乳脂狀沉淀。經(jīng)過濾、干燥得到膠體。將一部分膠體熱處理后得到鈮酸鋰粉末；用去離子水和醋酸配制一定摩爾濃度的LiNbO