陳列波導(dǎo)器件封裝系統(tǒng)中運(yùn)動(dòng)平臺(tái)誤差建模及仿真分析.pdf

1、集成光子器件在全光通信網(wǎng)絡(luò)的構(gòu)建中具有廣泛的應(yīng)用前景，而目前制約其發(fā)展的關(guān)鍵在于器件封裝技術(shù)。在集成光子器件封裝工藝中，實(shí)現(xiàn)器件功能的耦合對(duì)準(zhǔn)過程難度較大，需要通過多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)多維空間亞微米精度位置控制才能實(shí)現(xiàn)多光路的精確對(duì)準(zhǔn)與耦合，因此研究陣列波導(dǎo)器件封裝系統(tǒng)中多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的綜合空間誤差建模并對(duì)其誤差敏感性進(jìn)行仿真分析具有極其重要的意義。 首先詳細(xì)介紹了適應(yīng)于多軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的多體系統(tǒng)誤差建模分析方法的理論基礎(chǔ)。并以四軸運(yùn)動(dòng)平

2、臺(tái)為例，對(duì)該平臺(tái)結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行了最優(yōu)化組合成為7個(gè)相鄰單元體，就平臺(tái)的誤差源及各單元的基本誤差進(jìn)行了分析，得到了影響平臺(tái)綜合空間誤差的基本誤差。 基于結(jié)合了齊次坐標(biāo)變化理論與多序體特征描述方法的多體系統(tǒng)誤差分析建模方法，對(duì)四軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)建立了靜止?fàn)顟B(tài)和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)兩種情況下的綜合空間誤差模型。并在兩種情況下利用仿真計(jì)算程序得到了四軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)綜合空間誤差模型對(duì)單個(gè)基本誤差的敏感性仿真分析。 基于ISO-230-2/1997定位精度