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文檔簡介
1、"溫室效應"、室內(nèi)環(huán)境及植物光合作用等要求人們對CO<,2>氣體濃度進行監(jiān)測與控制.本文以CuO-SrTiO<,3>和CuO-BaTiO<,3>復合金屬氧化物電阻型薄膜材料為研究對象,采用溶膠-凝膠工藝,對薄膜制備過程,CO<,2>氣體敏感特性及敏感機理進行了研究.采用無機鹽為主要原料,以檸檬酸為絡合劑、乙二醇為膠聯(lián)劑制備出均一、穩(wěn)定的CuO-SrTiO<,3>和CuO-BaTiO<,3>薄膜前驅(qū)體溶膠.通過采用紅外光譜、X衍射及掃描電
2、鏡等分析手段,對溶膠及制備的薄膜進行了研究,發(fā)現(xiàn)檸檬酸主要起絡合金屬離子的作用,乙二醇起膠聯(lián)作用.實驗證明,溶膠的濃度對溶膠及薄膜質(zhì)量有很大影響,當溶膠濃度為0.1mol/L,可形成表面形貌好的薄膜.對溶膠-凝膠法制備CuO-SrTiO<,3>的制備工藝進行了深入研究.實驗發(fā)現(xiàn),預燒和煅燒、成膜次數(shù)對CuO-SrTiO<,3>薄膜形成有較大影響.該文對CuO-SrTiO<,3>薄膜材料的CO<,2>氣體敏感特性進行了系統(tǒng)研究,發(fā)現(xiàn)CuO
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