高精度定位平臺(tái)的標(biāo)定及補(bǔ)償技術(shù)研究.pdf

1、高精度自動(dòng)測(cè)量及其定位技術(shù)已廣泛應(yīng)用于微電子信息產(chǎn)業(yè)、轉(zhuǎn)基因生物工程、納米操作等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)中，成為一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。無(wú)論是生物工程中的細(xì)胞操作、集成電路或光電子器件的加工，還是采用掃描電子顯微鏡進(jìn)行納米操作，均要采用一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，那就是需要高精度自動(dòng)測(cè)量和高精度定位技術(shù)。因此，本課題組所要建立的高精度定位平臺(tái)是一項(xiàng)非常重要的技術(shù)。目前，國(guó)內(nèi)在這領(lǐng)域已有不少研究，但其與國(guó)外之間還有不少距離，尤其在標(biāo)定技術(shù)方面的研究國(guó)內(nèi)還沒(méi)有相關(guān)報(bào)道。

2、 高精度定位平臺(tái)是通過(guò)激光干涉系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定和補(bǔ)償?shù)?，需要涉及到研究?jī)?nèi)容主要有：微位移測(cè)量技術(shù)和平臺(tái)標(biāo)定技術(shù)。本文的研究也是從這兩個(gè)方面展開(kāi)，主要包括以下四個(gè)部分： 第一部分是激光干涉系統(tǒng)的介紹及誤差分析研究。闡述了激光干涉儀的位移測(cè)量原理，簡(jiǎn)要介紹本課題所采用的日本的DISTAX公司的L-LM-20B型帶光纖傳導(dǎo)的小型激光干涉測(cè)量系統(tǒng)，并對(duì)其在本實(shí)驗(yàn)室條件下的測(cè)量誤差作了詳細(xì)地分析并提出改進(jìn)方案。 第二部分是余弦誤差修正

3、系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)。分析了余弦誤差產(chǎn)生的原因及修正其的必要性，接著闡述了余弦誤差修正系統(tǒng)的基本原理、軟硬件電路建立及實(shí)驗(yàn)效果。 第三部分是微動(dòng)平臺(tái)的標(biāo)定方法研究。對(duì)微動(dòng)平臺(tái)的標(biāo)定實(shí)驗(yàn)環(huán)境作了系統(tǒng)地分析，將微動(dòng)平臺(tái)固有誤差與環(huán)境變化帶來(lái)的綜合誤差區(qū)別開(kāi)來(lái)，并對(duì)微動(dòng)平臺(tái)作了多次往返標(biāo)定，得到標(biāo)定數(shù)據(jù)并通過(guò)最小二乘法多次曲線擬合得到往返誤差曲線方程，對(duì)微動(dòng)平臺(tái)采用了反相補(bǔ)償法進(jìn)行了補(bǔ)償。 第四部分是系統(tǒng)閉環(huán)光柵的標(biāo)定方法初步研究。闡述