高速高精度平面定位平臺(tái)的研究.pdf

1、隨著移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，IC產(chǎn)業(yè)在國(guó)內(nèi)也得到了迅速發(fā)展，從而對(duì)于IC設(shè)備的需求也日益增加。但是國(guó)內(nèi)的設(shè)備主要依靠進(jìn)口，同時(shí)，高端設(shè)備對(duì)我國(guó)禁運(yùn)，從而導(dǎo)致成本增加。因此，展開對(duì)高速高精度平面定位平臺(tái)的研究具有深遠(yuǎn)的戰(zhàn)略意義。
　　本文首先通過(guò)對(duì)現(xiàn)有的高速高精度機(jī)構(gòu)進(jìn)行分析研究，依據(jù)半導(dǎo)體封裝設(shè)備的任務(wù)要求及技術(shù)指標(biāo)，采用一種適應(yīng)于高速高精場(chǎng)合的平面2自由度并聯(lián)機(jī)器人。采用閉環(huán)矢量法對(duì)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)學(xué)進(jìn)行詳細(xì)地分析推導(dǎo)，得到其正解及逆解

2、，在此基礎(chǔ)之上，對(duì)機(jī)構(gòu)的速度及加速度特性進(jìn)行研究，根據(jù)其任務(wù)要求規(guī)劃定位平臺(tái)的速度加速度，并分析定位平臺(tái)的工作空間。
　　基于雅克比矩陣對(duì)高速高精度平面定位平臺(tái)的靈巧度和奇異性等運(yùn)動(dòng)學(xué)特性進(jìn)行研究，分析機(jī)構(gòu)的奇異特性，為后期規(guī)避奇異位型做理論基礎(chǔ)?；谘趴吮染仃嚱㈧`巧度的性能指標(biāo)，研究不同構(gòu)型下定位平臺(tái)的靈巧度分布特性，從而選擇合適的機(jī)構(gòu)構(gòu)型。
　　基于拉格朗日方法建立高速高精度平面定位平臺(tái)的剛體動(dòng)力學(xué)模型，并利用MATL

3、AB進(jìn)行數(shù)值仿真分析其動(dòng)力學(xué)特性。在剛體動(dòng)力學(xué)的基礎(chǔ)上建立機(jī)器人的彈性動(dòng)力學(xué)，并應(yīng)用精細(xì)積分法求取末端定位平臺(tái)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)的數(shù)值解，研究定位平臺(tái)的彈性變形對(duì)于定位精度的影響，并研究其固有頻率特性，達(dá)到避開激振頻率的目的。
　　深入研究了混沌理論，并將其應(yīng)用于機(jī)器人的參數(shù)優(yōu)化。通過(guò)對(duì)現(xiàn)有的幾種典型的混沌序列的遍歷性進(jìn)行比較研究，提出遍歷性的指標(biāo)，比較各個(gè)混沌序列的優(yōu)劣性，選擇適用于混沌優(yōu)化的序列，對(duì)現(xiàn)有的混沌優(yōu)化算法進(jìn)行分析研究，分析