化學(xué)沉積稀土多元鈷基軟磁薄膜結(jié)構(gòu)和性能的研究.pdf

1、該文采用正交實(shí)驗(yàn)和回歸分析的方法,確定了稀土化學(xué)沉積Co-Ni-B-RE、Co-Fe-B-RE多元鈷基軟磁薄膜的工藝流程、鍍液配方和實(shí)驗(yàn)參數(shù),并通過(guò)對(duì)合金鍍層的成分含量測(cè)定、形貌結(jié)構(gòu)分析和力學(xué)磁學(xué)性能評(píng)估,研究了稀土元素、超聲波、磁場(chǎng)介入化學(xué)沉積多元鈷基軟磁薄膜工藝后,對(duì)合金成分、結(jié)構(gòu)和性能的作用機(jī)制.結(jié)果顯示化學(xué)沉積Co-Ni-B、Co-Fe-B工藝在稀土元素(Ce、La、Y、Dy)、能量(超聲波、磁場(chǎng))介入后,沉積過(guò)程、合金成分、鍍

2、層形貌結(jié)構(gòu)和性能都有顯著變化,表現(xiàn)在:鍍液的陰極極化過(guò)電位和極化度降低,沉積速度提高;鍍層的結(jié)合力、表面質(zhì)量改善;鍍層中過(guò)渡族元素的含量增加,輕元素硼的含量降低,同時(shí)證實(shí)了稀土元素與過(guò)渡族元素共沉積的可能性;鍍層的顯微結(jié)構(gòu)由非晶態(tài)向微晶和多晶態(tài)轉(zhuǎn)變;鍍層的顯微硬度與耐磨性提高,力學(xué)性能優(yōu)化;鍍層的矯頑力降低;磁導(dǎo)率提高;鍍層的磁化強(qiáng)度在能量(超聲波、磁場(chǎng))和輕稀土元素Ce、La介入后提高,重稀土元素Y介入后降低.此外當(dāng)合金鍍層經(jīng)250℃