化學(xué)沉積稀土Co-Fe-B合金薄膜工藝和電化學(xué)性能的研究.pdf

1、本文研究了化學(xué)沉積稀土Co-Fe-B合金薄膜工藝和電化學(xué)性能。采用正交實(shí)驗(yàn)法設(shè)計并驗(yàn)證了化學(xué)沉積Co-Fe-B合金工藝的基礎(chǔ)配方和最佳配方，考察了鍍液電化學(xué)性能，鍍液各組分對合金沉積速度的影響及合金鍍層的組織結(jié)構(gòu)和微觀形貌；在化學(xué)沉積Co-Fe-B工藝最佳配方基礎(chǔ)上添加不同種類稀土元素，考察稀土在鍍液中對電化學(xué)性能及沉積速度的影響，探討含稀土Co-Fe-B合金的共沉積機(jī)制及稀土對合金鍍層工藝、組織結(jié)構(gòu)和性能的作用機(jī)理和影響方式，以期獲得

2、綜合性能優(yōu)異的化學(xué)沉積鈷基合金軟磁薄膜。結(jié)果表明：鈷鐵離子是以共沉積形式進(jìn)入鍍層的，鈷鐵離子共沉積的極化度比離子單獨(dú)沉積??；酒石酸鈉濃度增加對氧化還原反應(yīng)有促進(jìn)作用，乙二胺濃度的增加，對硼氫化鈉氧化的促進(jìn)作用，對絡(luò)離子還原反應(yīng)有阻礙作用，亞硒酸濃度較低時，對還原反應(yīng)有促進(jìn)作用，較高時，有阻礙作用，對陽極氧化反應(yīng)正好作用相反；稀土元素在絡(luò)合劑和基體材料作用下，析出電位正移；稀土加入鍍液中，減小了陰極極化曲線的極化度，提高了沉積速度；成分分