微型零件在線檢測系統(tǒng)的研究.pdf

1、該論文所研究的課題來源于安徽省十五科技攻關(guān)重點項目〈特殊工況異形曲線在線檢測系統(tǒng)的研究〉.該課題的研究目標(biāo)是:設(shè)計并研制出一套顯微測量系統(tǒng),完成對微型零件的顯微放大及圖像的采集、處理和測量,并最終給出被測零件特征尺寸的測量結(jié)果,以及對測量結(jié)果的數(shù)據(jù)處理和精度分析.文中,作者首先在第一、第二章認真分析了國內(nèi)外在顯微機器視覺方面的發(fā)展概況,研究了小尺寸測量的有關(guān)問題,確定了對半導(dǎo)體芯片電路線寬進行顯微測量的研究方案.接下來,在第三、四兩章詳

2、細闡述了光學(xué)顯微系統(tǒng)和數(shù)字圖像的輸入、輸出等硬件部分的設(shè)計.在進一步的研究中,作者獨立完成了:(1)用Visual Basic語言進行軟件編程和程序調(diào)試,實現(xiàn)了顯微圖像的處理、測量和識別(見第五章);(2)針對顯向測量這一類特殊的幾何量測量,作者給出了影響測量結(jié)果的誤差因素,并對測量結(jié)果進行了細致的精度分析(見第六章);(3)對上述實際測量及精度分析部分進行了獨立的實驗.實驗結(jié)果表明,該套顯微測量裝置具有很好的測量穩(wěn)定性,半導(dǎo)體芯片電路