基于薄膜體聲波技術(shù)的器件設(shè)計(jì)及應(yīng)用.pdf

1、隨著無線通信技術(shù)的快速發(fā)展，人們對(duì)于能同步處理大量數(shù)據(jù)的多通帶收發(fā)器的需求與日俱增。近年來，多通帶收發(fā)器已被廣泛地應(yīng)用在定位系統(tǒng)和多標(biāo)準(zhǔn)的系統(tǒng)中，這些系統(tǒng)需要同時(shí)處理不同頻段的信號(hào)以提高系統(tǒng)的整體性能。盡管單個(gè)芯片中頻率帶的個(gè)數(shù)不斷增加，而消費(fèi)者對(duì)小型化、多功能的便攜式設(shè)備的需求越來越高，小型化成為芯片的發(fā)展趨勢(shì)，這就對(duì)濾波器的尺寸提出了更高的要求。如果采用傳統(tǒng)的波導(dǎo)技術(shù)實(shí)現(xiàn)多頻帶濾波器，濾波器尺寸會(huì)過大，無法滿足移動(dòng)設(shè)備的需求。

2、>　　為了迎接這一巨大挑戰(zhàn)，人們已經(jīng)關(guān)注一種新興的薄膜體聲波諧振器(FilmBulk Acoustic Resonator，簡(jiǎn)稱FBAR)技術(shù)，因?yàn)镕BAR具有品質(zhì)因數(shù)高、功率處理能力強(qiáng)以及與標(biāo)準(zhǔn)集成電路(IC)的兼容性好等一系列的固有優(yōu)勢(shì)。
　　本論文首先對(duì)薄膜體聲波諧振器的理論基礎(chǔ)進(jìn)行討論。然后論文分析FBAR的MBVD電學(xué)模型和梅森物理模型，重點(diǎn)討論基于二端口網(wǎng)絡(luò)的FBAR濾波器的設(shè)計(jì)研究方法。
　　論文詳細(xì)說明了微型

3、的射頻雙通帶FBAR濾波器的設(shè)計(jì)方法并展示了測(cè)試結(jié)果，測(cè)試結(jié)果與仿真結(jié)果非常接近。雙通帶濾波器由兩個(gè)共享輸入和輸出端口的FBAR濾波器實(shí)現(xiàn)，并且用一個(gè)簡(jiǎn)單的匹配網(wǎng)絡(luò)有效減弱了通帶間的干擾，實(shí)現(xiàn)了性能良好的雙通帶濾波特性。實(shí)測(cè)的低頻通帶和高頻通帶的中心頻點(diǎn)插入損耗典型值約為2dB，帶外抑制超過30dB。
　　論文還提出了一種巧妙的寬帶低損耗FBAR濾波器的設(shè)計(jì)架構(gòu)，新架構(gòu)通過引入了特殊的并聯(lián)支路來調(diào)節(jié)零點(diǎn)位置，實(shí)現(xiàn)了具備很高工程應(yīng)用