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文檔簡介
1、采用一維Mason模型，探討體聲波諧振器的頻率特性，研究壓電薄膜AlN、電極和聲反射層膜厚對諧振頻率的影響，優(yōu)化諧振器的電學(xué)性能，為設(shè)計具有大機(jī)電耦合系數(shù)和品質(zhì)因數(shù)的體聲波諧振器打下了理論基礎(chǔ)。采用直流磁控反應(yīng)濺射法制備AlN薄膜，利用X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描電鏡(SEM)表征了AlN薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌和斷面結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明在金屬Pt電極上，工作氣壓為0.2Pa，Ar/N2比率為4：6，濺射功率為100W，靶基
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