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1、氮化鎵(GaN)納米材料具有寬帶隙,高熱導(dǎo)率,穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì),較大的飽和電子漂移速度等優(yōu)良特點(diǎn),它是Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體的代表。這些優(yōu)良的特點(diǎn)使GaN納米材料可以廣泛的應(yīng)用于高亮度LED、藍(lán)光激光器、紫外探測(cè)器、大功率耐熱器件。此外,由于非極性GaN材料可以消除壓電極化氮化物發(fā)光器件輻射復(fù)合效率和發(fā)射波長(zhǎng)藍(lán)移。制備非極性氮化鎵材料,氮化鎵材料,已經(jīng)成為一個(gè)新的研究重點(diǎn)。
本論文采用化學(xué)氣相沉積法(CVD),在硅(Si)和藍(lán)寶石(
2、Al2O3)襯底上制備了一維GaN納米線,系統(tǒng)研究了GaN納米線的生長(zhǎng)機(jī)制、微結(jié)構(gòu)及元素組成,并在此基礎(chǔ)上開展了可利用電磁輻射能發(fā)電的新型GaN納米發(fā)電機(jī)的研究,研究在GaN納米線制備參數(shù)及應(yīng)用上都取得了一些新進(jìn)展。研究結(jié)果為我們下一步開展GaN納米線器件組裝及應(yīng)用都打下了堅(jiān)實(shí)的實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。
本論文主要工作及結(jié)果如下:
第一,采用CVD生長(zhǎng)法,以金為催化劑,分別在硅(Si)和藍(lán)寶石(Al2O3)襯底上制備了一維
3、GaN納米線陣列,研究了生長(zhǎng)溫度及原料配比對(duì)生長(zhǎng)的GaN納米線微結(jié)構(gòu)、元素配比及特性的影響,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明Al2O3襯底易于GaN納米線陣列的生長(zhǎng),生長(zhǎng)的GaN納米線多為棒狀,其晶格匹配較好,納米線表面光滑,結(jié)構(gòu)中缺陷較少,生長(zhǎng)的GaN納米線為六角纖鋅礦結(jié)構(gòu),納米線的直徑約為600nm,長(zhǎng)度約為8-12μm;Si襯底上生長(zhǎng)的納米線低溫下呈棉絮狀,較高溫度下呈魚骨狀,生長(zhǎng)的GaN納米線雜亂無(wú)序,線的長(zhǎng)度隨溫度的升高而增加,平均直徑約為170
4、nm-200nm,長(zhǎng)度可達(dá)幾十至上百微米,隨著納米線長(zhǎng)度的變長(zhǎng),GaN納米線易于傾倒,導(dǎo)致基片上GaN納米線雜亂無(wú)序。研究表明,1000℃下生長(zhǎng)的GaN納米線質(zhì)量最好。
第二,XRD分析結(jié)果表明,采用CVD生長(zhǎng)方法制備的GaN納米線,有三個(gè)主要的20衍射峰,分別對(duì)應(yīng)于GaN的六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)的(100)、(002)和(101)晶面,XRD衍射峰中還發(fā)現(xiàn)了金催化劑(111)晶面的特征峰。經(jīng)比較可知,在Al2O3襯底上生長(zhǎng)的Ga
5、N納米線各特征譜峰強(qiáng)度較Si襯底上生長(zhǎng)的納米線更強(qiáng),由此可知,Al2O3襯底上更利于GaN納米線的生長(zhǎng),這是由于GaN納米材料與Al2O3的品格匹配度更高決定的。
PL譜圖分析表明,在不同條件下生長(zhǎng)的GaN納米線,PL譜圖總體變化趨勢(shì)基本相同,其PL譜圖在530nm附近均出現(xiàn)一個(gè)較強(qiáng)的黃光發(fā)射峰,該發(fā)光峰與深能級(jí)雜質(zhì)及深能級(jí)缺陷有關(guān),一般認(rèn)為是由導(dǎo)帶或淺施主到深能級(jí)間的躍遷引起的。
第三,采用CVD法在Si襯
6、底上制備生長(zhǎng)的GaN納米線陣列,使用不同金屬(Cu,Al)電極作為接觸電極組裝了一種新型納米發(fā)電機(jī),該發(fā)電機(jī)可將電磁輻射信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并輸出電流。經(jīng)研究分析,發(fā)現(xiàn)這種納米線發(fā)電機(jī)的發(fā)電原理為電磁信號(hào)經(jīng)連接納米線與金屬電極的連線組成的對(duì)稱陣子天線將耦合到其上的電磁輻射信號(hào)轉(zhuǎn)換成交流電,另一方面GaN線與金屬接觸電極之間形成的肖特基結(jié)形成一個(gè)可使電流單向?qū)ǖ男ぬ鼗鶆?shì)壘,將周期性變化交流電信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)橹绷麟娏鬏敵?。研究表明,電磁輻射信?hào)源與
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