微電子加工用266nm紫外DPL.pdf

1、266nm紫外激光具有高光子能量、高聚焦能力和高的空間成像分辨率，非常適合加工微電子器件。本文以高效獲取連續(xù)266nm激光輸出為目標(biāo)對(duì)266nm全固態(tài)紫外激光器的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了理論和實(shí)驗(yàn)研究，并獲取了連續(xù)266nm激光。主要研究?jī)?nèi)容概括如下：
　　 1.利用簡(jiǎn)化四能級(jí)激光速率方程粗略推算端面泵浦激光器輸出功率與泵浦功率關(guān)系。
　　 2.基于穩(wěn)態(tài)熱傳導(dǎo)方程，采用更符合實(shí)際熱傳導(dǎo)過(guò)程的對(duì)流邊界條件，利用有限差分法模擬增益介質(zhì)

2、在泵浦光抽運(yùn)、側(cè)面水冷卻條件下的三維溫度分布，分析熱效應(yīng)對(duì)激光運(yùn)轉(zhuǎn)的負(fù)面影響。
　　 3.運(yùn)用穩(wěn)定諧振腔理論討論熱不靈敏穩(wěn)定腔的設(shè)計(jì)原則，通過(guò)在諧振腔中插入透鏡獲得了良好的熱補(bǔ)償效果。
　　 4.根據(jù)相位匹配條件和非線性極化波方程推導(dǎo)KTP、BBO的倍頻過(guò)程相關(guān)參數(shù)，研究弱功率基頻光光束質(zhì)量與倍頻效率、最佳倍頻晶體長(zhǎng)度的關(guān)系。闡述了比以往研究更符合真實(shí)物理過(guò)程的外環(huán)型腔對(duì)基頻光增強(qiáng)的機(jī)理。
　　 5.通過(guò)對(duì)端面泵