基于厚膜技術(shù)的不銹鋼壓力傳感器工藝研究及性能優(yōu)化.pdf

1、早在40年前，研究人員已經(jīng)開(kāi)始了對(duì)厚膜壓力傳感器相關(guān)技術(shù)的研究，在此期間，人們對(duì)于該技術(shù)的理論研究越來(lái)越深入，厚膜壓力傳感器在各個(gè)領(lǐng)域中的應(yīng)用也越來(lái)越廣泛，其中，汽車(chē)電子領(lǐng)域是厚膜壓力傳感器最重要的領(lǐng)域之一。早期的厚膜壓力傳感器主要基于96％Al2O3陶瓷基板，這種壓力傳感器一直沿用至今；隨著厚膜漿料系統(tǒng)的發(fā)展，國(guó)外已經(jīng)有公司提出了基于金屬基板的厚膜壓力傳感器，但是，由于嚴(yán)格的專利保護(hù)，外界對(duì)其相關(guān)信息知之甚少；國(guó)內(nèi)很少有研究機(jī)構(gòu)和企業(yè)

2、對(duì)此類(lèi)厚膜金屬壓力傳感器展開(kāi)研究。本論文的相關(guān)研究工作是在飛恩微電子有限公司的支持下進(jìn)行。
　　本論文在充分研究厚膜漿料系統(tǒng)的特性、厚膜壓力傳感器的工作原理和制作工藝的基礎(chǔ)上，通過(guò)理論計(jì)算、ABAQUS有限元仿真和性能測(cè)試等方法，對(duì)厚膜壓力傳感器的設(shè)計(jì)和工藝流程進(jìn)行了深入的研究和優(yōu)化；；并且對(duì)壓力傳感器的性能進(jìn)行了分析。本論文主要研究了一下五個(gè)方面的問(wèn)題：
　　（1）在厚膜壓力傳感器的設(shè)計(jì)方面：對(duì)厚膜壓力傳感器的工作原理進(jìn)行

3、了較為深入的研究，包括厚膜電阻的壓阻效應(yīng)、惠斯通電橋原理、小撓度理論。
　　（2）在厚膜壓力傳感器的制作工藝方面：對(duì)壓力傳感器制作工藝流程的設(shè)計(jì)，其主要包括先進(jìn)絲網(wǎng)印刷和厚膜漿料燒結(jié)時(shí)的溫度控制。
　?。?）在厚膜介質(zhì)層與金屬基板的兼容性方面：對(duì)厚膜介質(zhì)層與金屬基板的結(jié)合界面進(jìn)行了分析測(cè)試，研究不同膜層間的結(jié)合特性。
　　（4）在厚膜電阻的設(shè)置方面：通過(guò)ABAQUS模擬金屬膜片應(yīng)力應(yīng)變分布，計(jì)算厚膜電阻最佳布置方式，并