無(wú)氟感光YBCO凝膠薄膜制備及其陣列研究.pdf

1、用YBCO薄膜制備的高溫超導(dǎo)紅外陣列探測(cè)器具有噪聲小，靈敏度高，功耗低等優(yōu)點(diǎn)，在天文、軍事等領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用。采用傳統(tǒng)的微細(xì)加工技術(shù)制備YBCO陣列，大都不可避免的對(duì)其超導(dǎo)性能產(chǎn)生影響，因此，需要研究一種制備高性能YBCO陣列的新方法。YBCO薄膜的無(wú)氟溶膠-凝膠制備工藝具有環(huán)境友好，熱處理周期短等優(yōu)點(diǎn)，本文在無(wú)氟溶膠-凝膠工藝基礎(chǔ)上，添加化學(xué)修飾劑苯酰丙酮(BzAcH)對(duì)YBCO溶膠進(jìn)行改性，合成了穩(wěn)定的、成膜性良好的無(wú)氟感光YB

2、CO溶膠，并在薄膜感光的基礎(chǔ)上制備YBCO陣列。
　　首先，以釔、鋇、銅的醋酸鹽為原料，BzAcH為化學(xué)修飾劑，甲醇為溶劑，配制出了穩(wěn)定的、具有金屬螯合物的無(wú)氟YBCO溶膠，用該溶膠制備的凝膠薄膜在330nm附近出現(xiàn)紫外吸收峰。利用相應(yīng)波長(zhǎng)的紫外光照射，可使凝膠薄膜中的螫合物分解成難溶于有機(jī)溶劑的結(jié)構(gòu)，結(jié)合有機(jī)溶劑溶洗，可以實(shí)現(xiàn)YBCO凝膠薄膜的微細(xì)加工。同時(shí)，對(duì)影響YBCO圖形質(zhì)量的因素進(jìn)行了討論。
　　進(jìn)一步利用該溶膠在