有機(jī)溶膠—凝膠法制備VO2薄膜及其性能研究.pdf

1、氧化釩具有多種價態(tài)共同存在的性質(zhì)，其中VO2以其獨(dú)特優(yōu)異的光學(xué)特性而得到廣泛的研究。當(dāng)溫度升高到68℃左右，VO2會發(fā)生半導(dǎo)體相到金屬相的轉(zhuǎn)變，光學(xué)性能也會隨之發(fā)生突變，這使得VO2薄膜在溫度控制領(lǐng)域具有光明的研究前景。近年來VO2在智能控溫窗、激光防護(hù)等很多方面取得了很好的研究成果。
　　本文采用有機(jī)溶膠凝膠法成功制備了具有溫致相變性能的VO2薄膜。嘗試對VO2薄膜摻雜W6+以降低其相變溫度;所得到VO2薄膜的透過率較低，經(jīng)過對

2、TiO2薄膜的前期探索制備了TiO2/VO2復(fù)合結(jié)構(gòu)薄膜來達(dá)到提高薄膜透過率的目的。采用XRD分析了所制得薄膜的物相，SEM觀測了薄膜表面形貌和薄膜厚度，紅外-可見分光光度計測試了常溫、高溫下的薄膜透過率及相變溫度。結(jié)果表明提拉速度為90mm/min、在550℃的氮?dú)夥諊峦嘶?8min所得純氧化釩薄膜可見光區(qū)透過率為45％;常溫下紅外區(qū)的透過率約為55％，當(dāng)薄膜加熱到80℃時，薄膜遠(yuǎn)紅外區(qū)透過率降到35％，降低幅度達(dá)到36.4％;相變