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1、微透鏡陣列在光束整形、光束準(zhǔn)直等方面有著非常重要的作用,制作微透鏡陣列的方法也有多種。本文針對(duì)柱面微透鏡陣列的制作,在研究掩模移動(dòng)光刻原理及方法的基礎(chǔ)上,研究了數(shù)字掩模的理論及作用,并設(shè)計(jì)了用于制作柱面微透鏡陣列的數(shù)字掩模,采用數(shù)字移動(dòng)掩模光刻法制作柱面微透鏡陣列,分析了光刻工藝中影響微透鏡陣列面形的因素,通過選擇曝光時(shí)間、顯影液濃度、顯影液溫度和顯影時(shí)間,來對(duì)微透鏡陣列的面形進(jìn)行控制。制作出面形較為理想的柱面微透鏡陣列,單個(gè)微透鏡的矢
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