基于SU-8微透鏡及其陣列制造方法.pdf

1、透鏡是構(gòu)成光路系統(tǒng)中基本而又重要的光學(xué)元件，它屬于被動光學(xué)元件，用來匯聚、發(fā)散、準(zhǔn)直光輻射。透鏡陣列是由相同的透鏡按一定的順序排列在一個平面上形成的。傳統(tǒng)的透鏡體積比較大，屬于折射型光學(xué)元件，然而，隨著MOEMS（微光機電系統(tǒng)）技術(shù)的興起，當(dāng)前的儀器已經(jīng)開始朝著光、機、電集成的方向發(fā)展，用傳統(tǒng)方法制作出來的透鏡已滿足不了當(dāng)今科技發(fā)展的需求。
　　與球面透鏡相比，非球面透鏡具有消除像差、成像良好等特點而受到廣泛關(guān)注，本文在加工球面透

2、鏡的基礎(chǔ)上設(shè)計了非球面透鏡的掩模板并對其進行加工。
　　本文首先用光學(xué)設(shè)計軟件ZEMAX對球面透鏡與非球面透鏡進行了光線追跡，初步模擬出球面透鏡與非球面透鏡的像差圖，從理論上分析其光線傳輸特性。
　　本文使用SU-8作為光刻膠，采用光刻原理，尤其是斜曝光原理，加工出了主光軸平行于襯底的微透鏡及其透鏡陣列，單個微透鏡的直徑可達(dá)到300微米。由于SU-8并不是很好的光學(xué)材料，本文以SU-8微透鏡及其陣列作為母模，用PDMS作為中