基于洛埃干涉系統(tǒng)的亞微米光柵的制作與測試.pdf

1、光波導(dǎo)在通信、軍事、電力、天文、傳感等應(yīng)用領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用，而實(shí)現(xiàn)這一切功能都要依靠眾多優(yōu)良光波導(dǎo)材料的特性。在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)內(nèi)部制備的具有細(xì)微周期結(jié)構(gòu)的光柵，它具有波導(dǎo)光波面交換、調(diào)整和波長色散等多種功能。但是不幸的是，制作小尺寸光柵，尤其是亞微米光柵，工藝精度要求高，制作難度大。本文提出了運(yùn)用一種應(yīng)用洛埃鏡設(shè)計(jì)的全息干涉系統(tǒng)來制作全息亞微米光柵的方法。制作出來的系統(tǒng)具有比較高的槽密度調(diào)整精度，且新裝置的結(jié)構(gòu)要比其他裝置簡單，調(diào)整方便

2、而且穩(wěn)定。
　　 本文從理論和實(shí)驗(yàn)兩方面討論了基于洛埃鏡干涉系統(tǒng)制作亞微米光柵方法的可行性，并且取得了較為滿意的結(jié)果，主要研究內(nèi)容包括：⑴分析了光在電介質(zhì)分界面和金屬表面的反射問題后，在洛埃鏡干涉系統(tǒng)中選擇了SIGMA-TFAN-5060R10-1鍍鋁膜反射鏡，解決了以往洛埃鏡干涉中的略入射角對光柵周期的限制問題。⑵分別用氦氖激光器和半導(dǎo)體綠光激光器搭建了具體的全息洛埃鏡干涉光路，解決了實(shí)驗(yàn)中光束準(zhǔn)直、擴(kuò)束及光斑質(zhì)量等實(shí)際問題。