含柔性放大臂雙壓電疊堆驅(qū)動噴射閥研究.pdf

1、點膠是一項重要的微電子封裝工藝，而噴射式點膠是目前發(fā)展最為迅速的點膠方式，具有膠滴一致性好、生產(chǎn)效率高以及適用范圍廣等優(yōu)點。為了實現(xiàn)高頻率、高性能的微量噴射點膠，本文設計了一種新型的含柔性放大臂雙壓電疊堆驅(qū)動的噴射點膠閥。
　　本文首先介紹了點膠技術的發(fā)展現(xiàn)狀以及壓電疊堆的相關知識;接著，根據(jù)機械碰撞式噴射點膠技術的原理，提出了含柔性放大臂雙壓電疊堆驅(qū)動噴射閥方案，完成了噴射閥結(jié)構(gòu)設計，并對微位移放大機構(gòu)和流體相關結(jié)構(gòu)進行了詳細的

2、設計和分析;然后，為了研究噴射閥噴針的動態(tài)特性，建立了噴射閥的數(shù)學模型，利用Matlab/Simulink進行了仿真分析，得到了噴針的位移曲線和速度曲線，并分析了驅(qū)動電壓、鉸鏈剛度、噴針質(zhì)量等關鍵參數(shù)對噴射閥噴針動態(tài)性能的影響;最后，利用噴射閥試制機搭建了點膠實驗系統(tǒng)，利用該實驗系統(tǒng)完成了噴射閥噴針動態(tài)特性、點膠圖案、膠滴噴射過程、膠滴尺寸影響規(guī)律、膠滴一致性等方面的實驗研究。實驗結(jié)果表明，所設計的含柔性放大臂雙壓電疊堆驅(qū)動噴射閥可以實