疊堆型壓電陶瓷特性測試及建模.pdf

1、隨著高科技領域迅猛發(fā)展以及相應市場的快速增長，對系統(tǒng)的驅(qū)動、傳感以及控制的精度要求越來越高。壓電陶瓷驅(qū)動器較其他驅(qū)動器有著定位精度高、剛性硬度大、響應速度快的優(yōu)勢，故被廣泛應用在各個領域進行精密定位。由于它具有微納米級運動精度特點，所以在超精密加工和微納制造方面有著越來越廣闊的應用價值，也對該領域的發(fā)展起到了至關重要的作用。但壓電陶瓷驅(qū)動器又存在遲滯等非線性特性直接影響整個平臺的性能，同時也加大了精密控制平臺的難度。本文主要針對壓電驅(qū)動

2、器的輸出特性進行研究，建立了遲滯模型，并且針對壓電驅(qū)動器以及橋式柔性鉸鏈放大機構進行了耦合建模。為補償壓電陶瓷驅(qū)動器微位移系統(tǒng)的遲滯特性奠定了理論基礎。
　　為了分析壓電驅(qū)動器的特性以及模型驗證，進行了壓電微位移系統(tǒng)的實驗平臺設計搭建以及測試，對于輸入電壓幅值、頻率和波形變化對位移輸出的影響進行實驗，并且對于力負載對壓電驅(qū)動器的位移輸出的影響進行了實驗。
　　通過數(shù)學公式和圖示的表達對于經(jīng)典的Preisach模型進行了描述，