基于柔性鉸鏈型位移放大機構(gòu)的高速噴射點膠頭研究.pdf

1、流體點膠技術(shù)是微電子封裝行業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)之一，它是一種以受控的方式對膠體進行精確分配的技術(shù)。開關(guān)閥式噴射點膠技術(shù)，相比其它噴射點膠技術(shù)，有著膠體適用范圍廣、工作效率高、噴射膠點一致性好的優(yōu)點，是流體點膠技術(shù)中最重要的發(fā)展趨勢。針對國內(nèi)在開關(guān)閥式噴射點膠技術(shù)中頻率較低、膠點體積過大等缺點，本文的研究目的是設(shè)計開發(fā)出一套以壓電陶瓷疊堆作為驅(qū)動源的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的開關(guān)閥式噴射點膠頭，實現(xiàn)對膠體的高頻微量噴射。主要的研究工作如下:
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2、1)提出了開關(guān)閥式噴射點膠頭中核心部分——位移放大機構(gòu)的設(shè)計方案，通過有限元仿真確定了該放大機構(gòu)的特征尺寸參數(shù)，以此參數(shù)加工出位移放大機構(gòu)樣機并進行測試，在壓電陶瓷通入電壓為200V的條件下，獲得最大位移輸出為367μm，與仿真結(jié)果一致，滿足了開關(guān)閥式噴射點膠頭對閥桿位移的應(yīng)用要求。
　　(2)對開關(guān)閥式噴射點膠頭的點膠過程進行理論分析并建立了流體動力學(xué)模型，以此為指導(dǎo)，通過流體仿真軟件對比了閥桿與閥座分別為錐面-錐面配合、球面-

3、錐面配合、球面-球面配合等幾種組合形式噴嘴的噴射性能，基于工業(yè)實際中使用膠體粘度范圍廣的考慮，最終確定了球面-球面配合的閥桿與閥座配合形式，并對影響該噴嘴性能的閥桿升程和速度參數(shù)進行了仿真分析。
　　(3)完成了開關(guān)閥式噴射點膠頭的整體設(shè)計和裝配，設(shè)計了閥桿-閥座研磨裝置，解決了點膠頭的密封問題，在此基礎(chǔ)上搭建了包括壓電疊堆測溫系統(tǒng)、壓電疊堆驅(qū)動系統(tǒng)等子系統(tǒng)的完整測試系統(tǒng)。
　　(4)通過對比分析，選擇甘油作為實驗材料，完成