基于機(jī)器視覺的晶圓裸片計數(shù).pdf

1、基于機(jī)器視覺的晶圓裸片計數(shù)可用于提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率。目前國內(nèi)外很多集成電路制造企業(yè)的離線晶圓裸片計數(shù)工作依然是人工計數(shù)，這種方式容易受到各種人為因素影響，效率跟準(zhǔn)確率都比較低，結(jié)合當(dāng)前產(chǎn)業(yè)升級的緊迫需要，這種人工方式需要刻不容緩的改進(jìn)。
　　 目前已發(fā)表的關(guān)于晶圓的論文大部分是依靠顯微技術(shù)對裸片質(zhì)量的缺陷檢測，設(shè)備復(fù)雜，檢測成本較高。還有一些論文是關(guān)于晶圓上裸片數(shù)目的理論值設(shè)計，主要研究如何在晶圓上制造更多的裸片。而關(guān)于利用視覺

2、技術(shù)自動計算實際裸片數(shù)目的文章尚未公開發(fā)表。
　　 本文提出一種基于機(jī)器視覺的晶圓裸片計數(shù)方法。該方法首先用Robert算子進(jìn)行邊緣檢測，獲取晶圓的輪廓，利用RANSAC算法擬合圓，確定晶圓在圖片中的位置，利用RANSAC算法針對晶圓區(qū)域進(jìn)行多直線檢測。然后利用晶圓上裸片的布局特點，依據(jù)直線方位把檢測到的直線分成兩類，剔除錯誤的直線并計算兩相鄰直線間的距離。利用提取的幾何特征補(bǔ)全漏檢測的直線以便完善晶圓內(nèi)部的結(jié)構(gòu)布局信息。最后依