基于AlGaN和石墨烯的紫外-紅外雙色探測器的制備研究.pdf

1、隨著社會科技的進步，軍事和民用的探測器也逐漸發(fā)展起來，紫外探測器和紅外探測器是兩種較為常見的光電探測器。目前，研制出的紫外-紅外雙色探測器所需材料生長困難，制備工藝復雜，制作成本高，集成后的器件響應度比較低。本設計研發(fā)出的雙色探測器不但降低了制備器件的難度，在器件性能上也有所提高。
　　本設計從理論分析設計入手，通過模擬器件來設計器件制備的工藝過程，并搭建測試系統(tǒng)對器件的探測性能進行了測試。得出了探測器的量子效率對偏壓和頻率的依賴

2、關系，發(fā)現(xiàn)隨著兩者的增大，探測器的量子效率分別隨之增大和減小；實驗發(fā)現(xiàn)了在低溫環(huán)境下紫外探測器的響應特性，通過降低溫度可以提高紫外探測器的光-暗電流之比并且減小下降時間。本文利用前期已經制備的高Al組分的AlGaN制備性能更加完善的MSM結構紫外探測器。同時采用化學氣相沉積法生長石墨烯，并對其進行表征。使用高質量石墨烯制備出性能更加完善的紅外探測器。
　　本文設計出的基于AlGaN和石墨烯的紫外-紅外雙色探測器不但減弱了集成難度，