鐵氧體基TaN薄膜及微波集成負載,隔離器研制.pdf_第1頁
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1、電子科技大學UNIVERSITYOFELECTRONICSCIENCETECHNOLOGYOFCHINA碩士學位論文MASTERTHESIS（電子科技大學圖標）論文題目鐵氧體基鐵氧體基TaN薄膜及微波集成負載，隔薄膜及微波集成負載，隔離器研制離器研制學科專業(yè)電子信息材料與元器件電子信息材料與元器件學號201021030635作者姓名計量計量指導教師張懷武張懷武AMasterThesisSubmittedtoUniversityofEle

2、ctronicScienceTechnologyofChinaMaj:ElectronicInfmationMaterialsComposAuth:LiangJiAdvis:HuaiWuZhangSchool:SchoolofMicroelectronicsSolidStateElectronicsTheResearchofTaNthinfilmmicrowaveintegratedloadisolatinferritesubstrat

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