激光調(diào)阻機(jī)擴(kuò)展測(cè)量系統(tǒng)的研制.pdf

1、隨著信息技術(shù)的迅猛發(fā)展,各類電子產(chǎn)品的小型化已經(jīng)是不可逆轉(zhuǎn)的趨勢(shì)。而厚膜混合集成電路的發(fā)展對(duì)電子設(shè)備的微型化起到了重要的推動(dòng)作用,但其自身的制作工藝決定了厚膜電阻阻值的存在制造誤差大的問題,必須對(duì)厚膜電阻進(jìn)行微調(diào)才能滿足精度要求,激光調(diào)阻機(jī)就是一種非常理想的對(duì)厚膜電阻進(jìn)行微調(diào)的自動(dòng)化加工設(shè)備。
　　市場(chǎng)現(xiàn)有激光調(diào)阻機(jī)無法滿足毫歐級(jí)電阻以及板上網(wǎng)絡(luò)電阻的測(cè)量與修調(diào)需求,本課題針對(duì)這一現(xiàn)狀設(shè)計(jì)開發(fā)了激光調(diào)阻機(jī)擴(kuò)展測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)主要包

2、括毫歐電阻擴(kuò)展測(cè)量?jī)x和網(wǎng)絡(luò)電阻擴(kuò)展測(cè)量?jī)x,本文圍繞上述擴(kuò)展測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了以下幾個(gè)方面的研究和設(shè)計(jì)工作。
　　本文首先分析了幾種電阻測(cè)試的基本方法與原理,從中選定了開爾文連接測(cè)試方法作為本課題的測(cè)試方案,并在此基礎(chǔ)上提出了激光調(diào)阻機(jī)擴(kuò)展測(cè)量系統(tǒng)的總體規(guī)劃與技術(shù)方案。其次分析了常用恒流源電路的基本原理,并提出了高精度的程控大電流恒流源的設(shè)計(jì)方案,完成了毫歐電阻擴(kuò)展測(cè)量?jī)x的硬件設(shè)計(jì)、散熱設(shè)計(jì)及軟件設(shè)計(jì),滿足了激光調(diào)阻中毫歐級(jí)電阻測(cè)量對(duì)激