數控微磨床綜合空間誤差建模與分析.pdf

1、隨著機械制造技術的快速發(fā)展，微型制造技術的出現是機械領域的重大突破，微型制造技術區(qū)別于MEMS技術和超精密加工技術，是以半導體制造技術為基礎的微機械加工技術與傳統的精密加工技術之間的“中間部分”，是高效率、高精度加工微小零件的有效途徑，是能夠解決加工結構復雜和材料多樣的微小型零件的重要技術。
　　 本文基于自行設計的數控微磨床，探討主要影響數控微磨床加工精度的誤差，而幾何誤差、載荷誤差和熱變形誤差是數控微磨床的典型誤差源。

2、>　　 運用多體系統理論，針對數控微磨床的典型誤差源，描述數控微磨床的多體系統拓撲結構和低序體，并根據數控微磨床加工過程，結合磨床的結構和機構之間的聯系方式，分析得到各典型體之間的特征矩陣，建立數控微磨床的綜合空間誤差模型。確定數控微磨床的幾何誤差、熱變形誤差和載荷變形誤差等典型誤差的變化規(guī)律。
　　 運用有限元方法、磨床振動理論和熱態(tài)分析，對數控微磨床的關鍵部件電主軸和工件主軸進行靜態(tài)、動態(tài)及熱態(tài)分析，研究變形量的分布情況和