電遷移壽命預(yù)警電路設(shè)計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、廣東工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文電遷移壽命預(yù)警電路設(shè)計姓名：王浩申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：羅宏偉20120605AbstractWiththedevelopmentofmicroelectronictechnologytheintegratedcircuit’Scharacteristicdimensiondecreasestolessthanamicrometer，evenafewnanometersIntheme

2、anwhile，themetalinterconnectlineenduresalargercurrentdensityasaresultofasmallercrosssectionareaAccordingtoBlack’SEquationthelifetimeofametalinterconnectlinedeclineswiththeriseofthecurrentdensityacrosstheIineThereforethee

3、lectromigrationofmetalinterconnectlinehasbeenoneofthemainfailuremechanisinsofICsanditisnecessarytopredictthelifetimeofthemetalinterconnectlinepreciselyComparedwithtraditionaldiagnostictechnology，theprognosticandhealthman

4、agementtechnologyofelectronicsisbetterrecognizedasasuperioronesinceitinvolvesinseveralnewfrontiersubjects，belongstoconditionbasedmaintenance，andhasoverwhelmingadvantagesovertraditionalschedulemaintenanceandaftermaintenan

5、ceAtpresent，therearethreemainmethodstoimplementthistechnology：‘‘canaries’’or‘‘fuses’’，monitoringprecursorstofailureandmonitoringenvironmentalandusageloadsInthispaper，weadoptthe‘canary”methodtOpredicttheelectromigrationfa

6、ilureofICsInthecircuit，acanarycellisaddedtOprovidewarningoffailureduetospecialwearoutfailuremechanismsinadvanceWepresentaprognosticcircuitofelectromigrationfailuremechanismwhichincludesastresscircuitandameasurementcircui

7、tInastressingcycle，alargercurrentisappliedtOthestressresistorthenelectromigrationacceleratesanditsresistanceincreasesHowever，inameasurementcycle，thevalueofthestressresistorwillbedetermined，andtheswitchofthetwocyclesiscon

8、trolledbyaclockimpulsesignalInthemeasurementstate，whenthestressresistanceislessthan120％，theoutputremainsconstant；Otherwise，itsoutputturnsInthispaper，aprognosticschematicdiagramofelectromigrationlifetimeisfirstdesignedbas

9、edontheresearchandanalysisofdomesticandoversealiteraturesThentheimplementationofcircuitblocksandthewholecircuitareaccomplished脅fisimportantisthatwedesignacurrentsourceandacomparatorindependentoftemperatureandpowersupplyF

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