基于神經(jīng)網(wǎng)絡的離子束拋光工藝參數(shù)算法研究.pdf

1、離子束拋光技術是一種超精密加工技術。其最關鍵的控制因素就是駐留時間和去除函數(shù)。因此本文對這兩個參數(shù)進行了研究分析。
　　首先，對離子束加工的原理進行了研究。對離子束入射角度與濺射產(chǎn)額，離子束入射能量與濺射產(chǎn)額的關系進行了分析，得到濺射產(chǎn)額隨角度增大呈現(xiàn)先增大后減小趨勢，74°左右濺射產(chǎn)額達到最大。而且，濺射產(chǎn)額隨能量的增大而增大。
　　其次，建立了去除函數(shù)數(shù)學模型?？梢缘玫饺コ瘮?shù)與濺射產(chǎn)額之間存在密切的聯(lián)系。因此，我們得出

2、要實現(xiàn)去除函數(shù)的多角度控制，必須建立起角度與濺射產(chǎn)額之間的關系。因此，我們基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡對去除函數(shù)的關鍵參數(shù)進行運算，并對BP網(wǎng)絡的參數(shù)進行了合理選取，運用訓練好的網(wǎng)絡對角度和濺射產(chǎn)額之間的對應進行推算。
　　第三，采用CEH模型的線性方程組求解駐留時間時，發(fā)現(xiàn)這種方法可以完全克服邊緣效應。但是，由于這種方法存在病態(tài)性，因此，采用了TSVD正則化求解法來彌補這個缺陷。并得到駐留時間、殘差與截斷參數(shù)k的關系呈現(xiàn)“L”形曲線，而且k