2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩55頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、近年來,以Ⅲ族氮化物為代表的第三代半導(dǎo)體材料得到了非常迅速的發(fā)展,但仍然面臨諸多問題,特別對于p型GaN基材料而言,如何得到理想的電學(xué)性能一直是一個難題。
  本文使用金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積技術(shù)(MOCVD)在不同極性面的藍(lán)寶石襯底上生長了極性、半極性、非極性Mg摻雜的GaN和AlGaN材料,分析了其表面形貌、晶體質(zhì)量等特性,優(yōu)化了生長條件及退火條件,改善了材料的電學(xué)性能。
  本文主要的研究內(nèi)容和成果如下:
  

2、(1)在c面藍(lán)寶石襯底上制備了Mg均勻摻雜和delta摻雜的GaN材料,經(jīng)過對比,發(fā)現(xiàn)使用delta摻雜的GaN材料,電學(xué)性能明顯提高。這是因?yàn)閐elta摻雜能夠阻斷底層位錯向上延伸,從而提高了材料的晶體質(zhì)量;對delta摻雜的p-GaN材料,在不同的溫度下熱退火,得到在770℃時,p-GaN材料具有最佳的電學(xué)性能,此時的空穴濃度、遷移率和電阻率分別為1.09×1018cm-3、2.83cm2/V·s和1.89Ω·cm。
  (2

3、)在c面藍(lán)寶石襯底上生長了p-AlGaN材料并研究了其最佳退火條件。首先比較了插入不同緩沖層對外延材料表面形貌、晶體質(zhì)量、電學(xué)性能的影響。實(shí)驗(yàn)證明,當(dāng)插入未摻雜的GaN薄膜作為緩沖層時,表面形貌較好,同時電學(xué)性能也有顯著的提高,說明適當(dāng)?shù)木彌_層可以極大地提高材料的晶體質(zhì)量,從而減少補(bǔ)償受主,提高p型層的空穴濃度。其次,本文又對delta摻雜周期進(jìn)行了優(yōu)化,在一個delta摻雜周期內(nèi),保持摻雜時間不變,改變AlGaN材料的生長厚度,當(dāng)厚度

4、為10nm時,p-AlGaN材料的電學(xué)性能最佳。而在對退火溫度、時間、氛圍、升溫速率和氣體流量分別優(yōu)化后,得到在退火溫度為750℃,退火時間為8min,退火氛圍為氧氣,升溫速率為50℃/s,氣體流量為800sccm時,p-AlGaN材料的電學(xué)性能最好,此時的電阻率為1.2Ω·cm。
  (3)本文還初步研究了非極性、半極性p-GaN基材料的生長和摻雜。首先采用氨氣脈沖法生長的AlN作為緩沖層,在m面藍(lán)寶石襯底上生長了不同Al組分的

5、Mg摻雜半極性AlGaN材料,透射譜曲線表明高Al組分的AlGaN材料的內(nèi)部晶體質(zhì)量較好,這是因?yàn)槲覀儾捎冒睔饷}沖法生長的AlN作為緩沖層,高Al組分的AlGaN外延層與緩沖層的晶格失配更小,有利于材料的外延生長。其次,通過比較Mg摻雜濃度分別為0、125、175和200sccm的半極性AlGaN材料的SEM圖和XRD搖擺曲線掃描結(jié)果發(fā)現(xiàn),摻雜濃度越高,表面形貌越粗糙,XRD搖擺曲線的半高寬(FWHM)越大,晶體質(zhì)量越差。最后,在r面藍(lán)

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論