2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

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2、14年1o月20弱山東大學碩士學位論文目錄摘要iABSTRACTiii第一章緒論111課題背景、目的及意義112硅及硅單晶生長過程2121硅的物理、化學及其半導體性質2122硅單晶生長及其關鍵技術3123硅單晶制備設備413硅單晶中的微缺陷514硅單晶生長數(shù)值模擬現(xiàn)狀615本文研究內容7第二章有限元模型及CGSim軟件921數(shù)值模擬方法及其物理模型9211計算機仿真9212數(shù)值模擬方法的選擇9213物理模型及其簡化1022方程離散化及有

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