單晶硅棒圓周遍歷四軸檢測臺研發(fā).pdf

1、近年來,由于半導體產業(yè)以及太陽能光伏產業(yè)的快速發(fā)展,市場上對單晶硅材料的需求量在不斷增加。單晶硅在生產過程中會受到一些不確定因素的影響,從而形成例如裂紋、雜質、氣泡等缺陷。單晶硅后續(xù)應用需要切片,生產過程中所產生缺陷會對切片工序有嚴重影響。故而,如何在切片工序之前發(fā)現這些缺陷是至關重要的。
　　針對這一問題,有人提出應用超聲無損檢測的方法來檢測硅棒內部缺陷,并已開始研究。由于單晶硅棒形狀的特殊性,課題采用了超聲波透、反射結合圓周遍

2、歷的檢測方法。為了能夠更高效、準確的檢測出單晶硅棒內部的缺陷,需構建一個工作效率高,實用性強的實驗平臺。
　　本文主要設計了一個可自動控制的圓周遍歷檢測平臺作為超聲波檢測實驗的平臺,用來提高單晶硅棒內部缺陷檢測的效率和可靠性。機械檢測平臺主要包括旋轉機構、平移機構和提升機構三個部分,旋轉機構采用內部為蝸輪蝸桿機構的旋轉臺來實現,平移機構和提升機構均采用了結構簡單,安裝方便的線性模組來實現?？刂葡到y(tǒng)在總體上采了用集散式(DCS)的控

3、制機制,即以上、下位機兩級的控制結構,來實現系統(tǒng)的分散直接控制和集中的監(jiān)控管理功能。
　　本文開展的工作如下:首先介紹了課題的背景及意義,說明單晶硅棒缺陷檢測的必要性,引出超聲透、反射結合圓周遍歷的檢測方法;其次針對這一檢測方法,提出了對機械檢測平臺的要求;然后討論了機械檢測臺中各個機構中可選的傳動機構并對其做出了分析比較,確定了機械檢測臺的最終方案;接著對檢測臺作了參數計算及零部件選取,并對部分組件的安裝作了必要說明;然后又對其