單晶硅曲面鏡低損傷精密磨削及檢測(cè)技術(shù)研究.pdf

1、單晶硅曲面光學(xué)元件在高能激光系統(tǒng)中具有重要作用，其加工的面形精度和損傷性能對(duì)系統(tǒng)的性能有較大影響。單晶硅曲面工件成形加工過程存在許多問題有待解決，而成熟的單晶硅平面鏡的加工工藝并不適用于曲面成形。單晶硅又是典型的硬脆材料，普通磨削加工不能有效控制工件的亞表面損傷，使得后續(xù)的拋光工藝難以權(quán)衡加工效率、成本與最終加工精度之間的關(guān)系，因此需要將精密磨削作為普通磨削與拋光工藝之間的銜接。本文圍繞誤差源對(duì)曲面面形精度的影響和工藝參數(shù)對(duì)工件亞表面損

2、傷的影響兩個(gè)方面進(jìn)行研究，以期解決單晶硅曲面工件加工過程中損傷抑制與面形精度提升的問題。研究主要內(nèi)容包括：
　?。?）基于精密延性域磨削機(jī)理，分析單晶硅材料脆塑轉(zhuǎn)變磨削特性，得到臨界磨削力、臨界切深和砂輪的最小轉(zhuǎn)速等參數(shù)值，為后續(xù)工藝參數(shù)優(yōu)選提供依據(jù)。
　　（2）研究影響單晶硅曲面工件成形精度的因素。通過建立對(duì)刀誤差、砂輪磨損對(duì)加工精度的影響模型，得到對(duì)刀誤差的誤差形式和砂輪磨損規(guī)律，提出具體的中心對(duì)準(zhǔn)原則和磨損補(bǔ)償?shù)牡?/p>