2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩46頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、目前硅襯底GaN基LED外延薄膜緩減張應(yīng)力和防止裂紋的方法主要有兩種:其一為使用圖形硅襯底,其二為生長較厚的鋁鎵氮緩沖層,這兩種方法各有優(yōu)缺點(diǎn)。盡管圖形硅襯底GaN基LED已經(jīng)實現(xiàn)批量生產(chǎn)并逐漸為市場所接受,然而它還有大量的科學(xué)技術(shù)問題有待解決,諸多研究空白值得進(jìn)行深入研究。其中,研究清楚單個圖形內(nèi)不同微區(qū)的發(fā)光性能及應(yīng)力狀態(tài)、襯底和緩沖層與量子阱層的應(yīng)力交互作用及其對發(fā)光性能的影響等問題,對于提高硅襯底GaN外延薄膜質(zhì)量和器件性能具有

2、重要指導(dǎo)意義,因此本文系統(tǒng)研究了圖形硅襯底GaN基LED薄膜去除襯底及AlN緩沖層后單個圖形內(nèi)微區(qū)發(fā)光及應(yīng)力變化。光致發(fā)光譜是研究GaN基LED的一種重要研究手段,然而硅襯底是不透光襯底,它對可見光具有一定的反射率,在硅襯底上外延的LED薄膜其光致發(fā)光譜會存在明顯的干涉現(xiàn)象,這給準(zhǔn)確的研究硅襯底LED的發(fā)光性能帶來極大困難。本文,利用GaN特有的特性,研究了一種獲得無干涉的硅襯底LED薄膜PL譜的測試方法,為準(zhǔn)確的研究硅襯底GaN基薄膜

3、發(fā)光性能帶來極大便利。
  本文的主要研究內(nèi)容和結(jié)論如下:
  1、去除圖形硅襯底后,自由支撐的LED薄膜朝襯底方向呈柱面彎曲狀態(tài),且相鄰圖形的柱面彎曲方向不一致,當(dāng)進(jìn)一步去除 AlN緩沖層后薄膜會由彎曲變?yōu)槠秸?br>  2、LED薄膜在去除硅襯底前后同一圖形內(nèi)不同位置的PL譜具有顯著差異,而當(dāng)去除氮化鋁緩沖層后不同位置的PL譜會基本趨于一致.
  3、LED薄膜每一位置的PL譜在去除硅襯底后均出現(xiàn)明顯紅移,進(jìn)一步

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論