主從式宏微定位平臺(tái)的分?jǐn)?shù)階控制方法研究.pdf

1、本文的研究對(duì)象是光刻機(jī)掩模臺(tái)宏微雙臺(tái)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，由于光刻機(jī)最終的性能指標(biāo)很大程度上直接由宏微雙臺(tái)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的控制精度和性能決定，因此針對(duì)掩模臺(tái)宏微雙臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制的研究非常有必要。本文分別從宏微雙臺(tái)控制結(jié)構(gòu)和策略以及控制算法對(duì)本系統(tǒng)進(jìn)行了研究和分析，并有針對(duì)性地做了仿真，最后應(yīng)用到了實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上，取得了一定的效果。
　　首先，本文對(duì)掩模臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了介紹。具體包括整體機(jī)械結(jié)構(gòu)構(gòu)成和布局、執(zhí)行機(jī)構(gòu)介紹、測(cè)量系統(tǒng)介紹，便于后面敘述和建模，并

2、且給出并分析了控制指標(biāo)，為后續(xù)仿真和實(shí)驗(yàn)制定了目標(biāo)。
　　其次，本文對(duì)執(zhí)行機(jī)構(gòu)建立了模型，并且通過列舉資料和仿真分析了采用宏微雙臺(tái)控制結(jié)構(gòu)的必要性，之后選取了具體的宏微雙臺(tái)控制結(jié)構(gòu)和策略。
　　然后，本文闡述了分?jǐn)?shù)階PID算法的概念，在進(jìn)行對(duì)比分析后選擇了最優(yōu)的分?jǐn)?shù)階算子近似方法，之后進(jìn)行仿真說明分?jǐn)?shù)階PID各個(gè)控制參數(shù)對(duì)系統(tǒng)性能的影響，并且利用遺傳算法對(duì)分?jǐn)?shù)階PID控制器進(jìn)行優(yōu)化整定，最終的仿真結(jié)果滿足控制指標(biāo)要求。