在線光學傳遞函數(shù)檢測及其精密定位控制的研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代科技的進步，光學系統(tǒng)成像技術(shù)在工業(yè)和檢測領(lǐng)域的應用漸趨廣泛，尤其在自動化和智能控制方面占著舉足輕重的地位。因此研究光學系統(tǒng)成像的質(zhì)量檢測和各種評價方法呈現(xiàn)突出的重要性。光學系統(tǒng)成像質(zhì)量評價有很多種方法，如:星點檢驗法、鑒別率法、波相差法、光學傳遞函數(shù)檢測法等，其中光學傳遞函數(shù)(MTF)檢測法是目前公認的最為客觀、有效的一種光學像質(zhì)檢測方法。目前光學傳遞函數(shù)檢測儀正在向自動化與標準化演進。自動版的MTF檢測儀對重復定位精度的要求比

2、較高，且要求重復性和穩(wěn)定性好。
　　本文結(jié)合現(xiàn)代自動MTF檢測儀在工業(yè)生產(chǎn)線上使用時遇到的定位不精準以及系統(tǒng)不穩(wěn)定等問題，在充分研究了光學傳遞函數(shù)理論基礎和精密定位檢測技術(shù)原理的基礎上，提出了基于光柵尺的閉環(huán)位置反饋系統(tǒng)，并在軟件、硬件兩方面將閉環(huán)定位系統(tǒng)融合進自動MTF檢測系統(tǒng)中，實現(xiàn)了±1μm的系統(tǒng)定位精度。
　　MTF檢測儀的定位精度問題得到解決后，本文對改進后的MTF檢測系統(tǒng)進行了儀器重復性和穩(wěn)定性檢測并獲得較好的測