溶膠-凝膠法制備Ba-,x-Sr-,1-x-TiO-,3-薄膜及其性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文對采用溶膠-凝膠法(Sol-gel法)制備的Ba<,x>Sr<,1-x>TiO<,3>(BST)薄膜的工藝進(jìn)行了初步研究,制備出了光滑均一的BST薄膜.對不同情況下制備出的薄膜的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析研究,重點對BST薄膜的介電性能進(jìn)行了研究,并嘗試對實驗結(jié)果做出解釋.對BST薄膜的介電性能進(jìn)行研究,從幾方面入手.著重研究了BST薄膜的介電性能隨著頻率變化的關(guān)系;BST薄膜的介電性能隨Ba/Sr比例變化的關(guān)系;BST薄膜的介電生能隨厚度變化

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