預激光脈沖對Gd等離子體光源碎屑及光輻射的影響研究.pdf

1、在極紫外光刻技術中，由于多層反射膜只能對極紫外光源在一個很窄的范圍內進行收集，所以為了能夠更有效的發(fā)揮激光等離子體（LPP）光源的優(yōu)勢，需要激光等離子體光源輻射出的極紫外光源在特定的波長范圍內帶寬越窄越好。Gd等離子體極紫外光源已經被證實能夠高效輻射6.8nm波段的極紫外光源，并且對其帶內0.6％進行收集的La/B4C多層反射膜被成功地制備，使得Gd等離子體極紫外光刻光源成為極紫外光刻技術中的新寵。在此之前的研究成果中通過 Nd:YAG

2、激光器獲得Gd等離子體極紫外光譜的譜線寬度都較寬。
　　本文通過Nd:YAG激光結合與雙脈沖法，成功減少Nd:YAG激光等離子體的自吸收效應從而獲得譜線寬度非常窄的極紫外光譜，當輻射強度為4×1011W/cm2，脈寬為10ns的1064納秒激光在50ns時間延時，輻照并加熱預脈沖形成的預等離子體從而獲得最佳最窄的極紫外光譜，譜線寬度約為0.3nm。雙脈沖條件下的最佳極紫外光譜0.3nm帶寬是僅有主脈沖照射條件下極紫外光譜寬度的1/

3、5。同時，對不同主-預脈沖條件下的6.8nm和7.2nm的這兩條譜線強度隨時間變化的規(guī)律進行了討論。另一方面，實驗發(fā)現當主脈沖激光強度增加或減小的時候，得到的極紫外光譜的譜線寬度均會變寬并且其寬度均向著長波長方向移動。進一步，將實驗條件下獲得的極紫外光譜與其他單位的類似實驗條件下獲得的極紫外光譜進行了對比研究。最后，對主-預脈沖條件下，Gd靶激光等離子體光源的碎屑產生進行了研究，發(fā)現在50ns延時條件下，可有效地抑制光源離子碎屑的產生量