高Xe等離子體平板光源的研究.pdf

1、高Xe等離子體平板光源是一種采用氚氖混合氣體放電的新型平板光源，具有無汞污染、白場均一性好、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快等優(yōu)點。高Xe等離子體平板光源用途廣泛，除了應(yīng)用在顯示、照明方面，另外還可以應(yīng)用在表面處理等方面，有著廣闊的前景。本論文針對該類光源的亮度和發(fā)光效率進(jìn)行重點研究，以改善其特性。
　　 本文結(jié)合等離子體放電原理，理論上重點分析了高Xe條件下等離子體光源的工作原理。采用粒子網(wǎng)格.蒙特卡羅碰撞(PIC-MCC)數(shù)值模擬方法，

2、對放電單元模型的放電過程進(jìn)行模擬，分析了電極間距和氙含量對放電特性的影響。結(jié)果表明：長電極間距、高氙含量能很好的改善放電性能。在理論分析的基礎(chǔ)上設(shè)計出電極結(jié)構(gòu)，制備不同工藝參數(shù)的屏。通過改變電極間距、Xe含量，研究該類參量對等離子體平板光源的亮度及發(fā)光效率的影響。
　　 本文制備了電極間距為2mm、4mm的等離子體平板光源，并對2mm電極間距的光源，研究了高Xe對發(fā)光特性的影響，著重對40％，50％，60％Xe含量進(jìn)行研究。研究