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1、有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管由于低成本、制造溫度低、易于加工、柔性等特點(diǎn)而受到廣泛關(guān)注,是未來(lái)半導(dǎo)體器件的發(fā)展方向,但是有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管的接觸電阻較大,成為限制其性能提高的重要因素。對(duì)于有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管接觸電阻的研究顯得很重要,本論文選用兩種接觸結(jié)構(gòu)來(lái)研究有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管的接觸電阻,分別是底柵底接觸和底柵頂接觸。研究底柵頂接觸有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管源/漏接觸長(zhǎng)度與接觸電阻之間的關(guān)系,并探究了源/漏接觸長(zhǎng)度對(duì)器件光敏特性的影響,接觸電阻的獲取。與之相對(duì)應(yīng),
2、也研究底柵底接觸源/漏電極厚度對(duì)器件接觸電阻的影響,接觸電阻的獲取,以及源/漏電極厚度對(duì)器件光敏特性的影響。
1.對(duì)于底柵頂接觸結(jié)構(gòu)的并五苯有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管,研究接觸長(zhǎng)度對(duì)器件光電特性的影響和接觸電阻的獲取。結(jié)果表明,在黑暗和光照下,器件的漏極電流隨著接觸長(zhǎng)度的增加而增大,并趨于飽和,飽和接觸長(zhǎng)度為1.2 mm。通過(guò)分析源/漏電極下電場(chǎng)的分布及其對(duì)電荷傳輸所造成的影響,對(duì)這一變化規(guī)律進(jìn)行了數(shù)值模擬。通過(guò)制備不同溝道長(zhǎng)度的器件,
3、研究了接觸電阻,結(jié)果表明接觸電阻隨著柵壓增大而減小,在柵壓為-40 V時(shí),接觸電阻為8.41×107Ω。
2.對(duì)于底柵底接觸結(jié)構(gòu)的并五苯有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管,研究不同半導(dǎo)體薄膜的厚度和不同電極厚度對(duì)器件性能和光敏特性的影響。結(jié)果表明,接觸電阻隨著電極厚度和柵壓的增加而減小。對(duì)于有機(jī)半導(dǎo)體薄膜的厚度對(duì)器件性能和光敏特性的影響進(jìn)行了研究,結(jié)果表明,接觸電阻隨著并五苯厚度的增加而減小。器件的光響應(yīng)度隨著并五苯層的厚度而增大(在25 nm
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