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1、我們對(duì)固態(tài)薄膜表面應(yīng)力的探討基于以下三個(gè)方面的研究:表面應(yīng)力作用下薄膜本征應(yīng)力的演化,薄膜形狀的分岔,以及薄膜力學(xué)響應(yīng)的尺度效應(yīng)等. 薄膜本征應(yīng)力是薄膜形成過程中由于缺陷等原因而引起的內(nèi)應(yīng)力.推導(dǎo)薄膜本征應(yīng)力的已有模型,基本上都忽略界面作用及襯底變形因素的影響.基于能量方法,我們推導(dǎo)了本征應(yīng)力與薄膜—襯底系統(tǒng)幾何尺寸的關(guān)系,得出的最大平均本征應(yīng)力比現(xiàn)有模型的計(jì)算結(jié)果小,并在沉積厚度一定時(shí)隨襯底厚度的減小而減小.固體表面應(yīng)力的測(cè)量普遍采取
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