導線陣列產生的微電磁力操縱磁粒子研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、當磁粒子包裹相應的外層物質時，可以與細胞產生選擇性黏附，該特性可用于細胞分離、分選、藥物運輸等。在硅片上制作導線陣列，通過對相應導線陣列的通斷電控制，可以操縱微磁粒子運動，也就控制了與其相聯的細胞運動。細胞運動到指定位置，借助工具對細胞進行操作，研究細胞特性。 本論文研究工作的主要內容如下： 1．全面地概述了國內外細胞操縱方法的發(fā)展狀況與工作原理。 2．從理論上對基于導線陣列產生的微電磁力操縱磁粒子方案進行

2、可行性分析，并使用有限元分析軟件ANSYS作導線陣列相關的電磁場分布情況模擬分析、在有培養(yǎng)液情況下的溫度場分布情況模擬分析，以及用計算軟件Matlab對磁粒子在局部磁場作用下所受到的電磁力、磁粒子運動時受到培養(yǎng)液粘滯力進行計算仿真。 3．設計了導線陣列的結構尺寸和工藝流程，并制作了光刻掩膜版。完成了導線陣列的各種工藝的研究，其中關鍵的工藝是PECVD和磁控濺射。在PECVD氮化硅過程中采用了新工藝，使PECVD溫度只需100℃

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