微波氫等離子體發(fā)射光譜診斷.pdf_第1頁(yè)
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1、氫等離子體在功能材料的化學(xué)氣相沉積、等離子體刻蝕和新的含氫化合物的化學(xué)合成等方面具有重要應(yīng)用.在這些工藝過(guò)程中,氫原子被認(rèn)為起到了非常關(guān)鍵的作用.因此,對(duì)氫原子濃度的原位診斷是研究和改進(jìn)上述等離子體工藝過(guò)程的重點(diǎn)也是難點(diǎn)之一.該文在分析了多種等離子體診斷方法后,采用了裝置簡(jiǎn)單、對(duì)等離子體沒(méi)有擾動(dòng)的發(fā)射光譜技術(shù),通過(guò)Actinometry方法(以Ar做內(nèi)標(biāo)氣體),對(duì)ASTeX型微波放電氫等離子體中的氫原子濃度進(jìn)行了原位測(cè)定.詳細(xì)研究了氫原

2、子譜線(Balmer線系)和氬原子譜線(750.4nm)的相對(duì)強(qiáng)度與氫氣流量、微波輸入功率以及放電氣壓之間的關(guān)系;同時(shí)對(duì)可視等離子體球的空間分布進(jìn)行了測(cè)量.該文在考慮電子直接激發(fā)和激發(fā)態(tài)氫原子和氬原子被氫分子淬滅的條件下,首次對(duì)較高氣壓下微波氫等離子體中氫氣的解離率做了計(jì)算.結(jié)果顯示,在微波輸入功率密度為13.5W/cm<'3>,氣體壓力從5~25torr變化的條件下,氫氣的解離率從0.11降低到0.04.另外,該文還討論了碰撞截面數(shù)據(jù)

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