低真空獲得和測量

1、低真空獲得和測量低真空獲得和測量（定容法測抽速）簡介簡介1.真空技術入門真空：低于一個大氣壓的氣體狀態(tài)。1643年，意大利物理學家托里拆利(E.Tricelli)首創(chuàng)著名的大氣壓實驗，獲得真空。自然真空：氣壓隨海拔高度增加而減小，存在于宇宙空間。人為真空：用真空泵抽掉容器中的氣體。真空量度單位：1標準大氣壓=760mmHg=760(Tr)1標準大氣壓=1.013x105Pa1Tr=133.3Pa真空區(qū)域的劃分目前尚無統(tǒng)一規(guī)定，常見的劃分

2、為：粗真空105—103Pa低真空103—101Pa高真空101—106Pa超高真空106—1010Pa極高真空1010Pa真空技術的應用其中，Q為單位時間內流入泵的氣體量。泵的抽氣速率S并不是常數(shù)，隨P而變。b)極限壓強Pu(極限真空)c)最高工作壓強Pmd)工作壓強范圍（PuPm）：泵能正常工作的壓強范圍幾種常用真空泵的工作壓強范圍旋片機械泵105—102Pa吸附泵105—102Pa擴散泵100—105Pa渦輪分子泵101—108P