真空的獲得與測量

1、真空的獲得與測量真空的獲得與測量物理07107180105馮維摘要：通過實(shí)驗(yàn)，要熟悉獲得和測量真空的方法和基本原理，了解機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、熱偶真空計(jì)、電離真空計(jì)等的構(gòu)造，掌握獲得與測量真空的方法。關(guān)鍵詞：真空獲得真空測量機(jī)械泵油擴(kuò)散泵引言：真空技術(shù)是近代物理學(xué)的基礎(chǔ)技術(shù)之一。真空技術(shù)的歷史開始于1634年，但是作為一門獨(dú)立的學(xué)科出現(xiàn)，只是近幾十年的事。目前，真空技術(shù)在近代尖端科學(xué)技術(shù)，如高能粒子加速器、大規(guī)模集成電路、表面科學(xué)、薄膜技術(shù)

2、、材料工藝和空間技術(shù)等工作中占有關(guān)鍵地位，在一般工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用則種類繁多，包括化學(xué)工業(yè)、醫(yī)學(xué)工業(yè)、、制鹽制糖工業(yè)、食品工業(yè)、電子工業(yè)等。正文：真空技術(shù)主要包括真空的獲得、真空測量、和殘余氣體的分析三個部分（1）真空的獲得：按獲得真空方法的原理不同，可以將真空泵分為輸運(yùn)式真空泵和捕獲式真空泵。本實(shí)驗(yàn)提供機(jī)械泵作為前級泵，油擴(kuò)散泵作次級泵來獲得高真空。（2）真空的測量：測量真空度的裝置稱為“真空計(jì)”或“真空規(guī)管”。本實(shí)驗(yàn)提供熱偶真空計(jì)和電

3、離真空計(jì)。（3）真空檢漏：真空檢漏是真空技術(shù)中極其重要的一環(huán)，方法有顯濕法、液泡法、活性炭法、電離計(jì)法、質(zhì)譜計(jì)法和放射性法等。實(shí)驗(yàn)裝置：接被抽容器氣氣定子滑片油標(biāo)彈簧轉(zhuǎn)子工作室進(jìn)汽管放油閥排氣孔排氣閥門氣氣進(jìn)氣濾網(wǎng)氣氣油氣分離室氣氣圖1一級噴油嘴級噴油嘴氣氣電爐硅油冷水回油管被抽容器氣氣接機(jī)器泵氣氣三級噴油嘴級噴油嘴氣氣二級噴油嘴級噴油嘴氣氣圖2843KER??A接真空系統(tǒng)真級噴油嘴氣氣mAmV實(shí)驗(yàn)結(jié)論：能粗略的判斷空室內(nèi)的壓強(qiáng)隨著時間

4、的推移而降低，即真空度隨著時間的推移而增加且速度變的越來越慢，最后趨于一個穩(wěn)定的值，不再改變；而抽氣速率隨著壓強(qiáng)的降低而降低。隨著真空度的上升，真空室中的氣體分子減少，油分子能捕獲氣體分子的幾率也減少，所以壓強(qiáng)值的下降速度也減緩下來。注意事項(xiàng)：1、嚴(yán)格按照系統(tǒng)操作規(guī)程進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，不然試驗(yàn)儀器很容易損壞。2、對真空室預(yù)抽時應(yīng)使真空壓力達(dá)到6.7Pa以下，再打開高真空閥，避免擴(kuò)散泵油氧化，影響真空性能。3、油擴(kuò)散泵升溫工作時，應(yīng)先通冷卻水，再