真空鍍膜產品常見不良分析、改善對策

1、真空鍍膜產品常見不良分析、改善對策真空鍍膜產品常見不良分析、改善對策一、膜強度一、膜強度膜強度是鏡片鍍膜的一項重要指標，也是鍍膜工序最常見的不良項。膜強度的不良（膜弱）主要表現(xiàn)為：①擦拭或用專用膠帶拉撕，產生成片脫落；②擦拭或用專用膠帶拉撕，產生點狀脫落；③水煮15分鐘后用專用膠帶拉撕產生點狀或片狀脫落；④用專用橡皮頭、1Kg力摩擦40次，有道子產生；⑤膜層擦拭或未擦拭出現(xiàn)龜裂紋、網(wǎng)狀細道子。改善思路：基片與膜層的結合是首要考慮的，其次

2、是膜表面硬度光滑度以及膜應力。膜強度不良的產生原因及對策：膜強度不良的產生原因及對策：①基片與膜層的結合。一般情況，在減反膜中，這是膜弱的主要原因。由于基片表面在光學冷加工及清洗過程中不可避免地會有一些有害雜質附著在表面上，而基片的表面由于光學冷加工的作用，總有一些破壞層，深入在破壞層的雜質（如水汽、油汽、清洗液、擦拭液、拋光粉等，其中水汽為主要），很難以用一般的方法去除干凈，特別對于親水性好，吸附力強的基片尤其如此。當膜料分子堆積在這

3、些雜質上時，就影響了膜層的附著，也就影響了膜強度。此外，如果基片的親水性差、吸附力差，對膜層的吸附也差，同樣會影響膜強度。硝材化學穩(wěn)定性差，基片在前加工過程中流轉過程中，表面已經(jīng)受到腐蝕，形成了腐蝕層或水解層（也許是局部的、極薄的）。膜層鍍在腐蝕層或水解層上其吸附就差，膜牢固度不良?；砻嬗信K污、油斑、灰點、口水點等，局部膜層附著不良，造成局部膜牢固度不良。改善對策：㈠加強去油去污處理，如果是超聲波清洗，應重點考慮去油功能，并保證去油

4、溶液的有效性；如若是手擦，可考慮先用碳酸鈣粉擦拭后再清擦。㈡加強鍍前烘烤，條件許可，基片溫度能達到300℃以上更好，恒溫20分鐘以上，盡可能使基片表面的水汽、油汽揮發(fā)。注意：溫度較高，基片吸附能力加大，也容易吸附灰塵。所以，真空室的潔凈度要提高。否則基片在鍍前就有灰塵附著，除產生其它不良外，對膜強度也有影響。（真空中基片上水汽的化學解吸溫度在260℃以上）。但不是所有的零件都需要高溫烘烤，有的硝材溫度高了反而膜強度不高還會有色斑產生。這

5、與應力以及材料熱匹配有較大的關系。㈢有條件時，機組安裝冷凝機（PLOYCOLD），除提高機組真空抽速外，還可以幫助基片水汽、油氣去除。㈣提高蒸鍍真空度，對于1米以上的鍍膜機，蒸鍍啟動真空應高于3103Pa，鍍膜機越大，蒸鍍啟動真空更高。㈤有條件時，機組安裝離子源，鍍前轟擊，清潔基片表面，鍍膜過程輔助，有利于膜層的密實牢固。㈥膜料的去潮，將待用膜料用培養(yǎng)皿盛放在真空室干燥。㈦保持工作環(huán)境的干燥（包括鏡片擦拭、上傘工作區(qū)），清潔工作環(huán)境時不

6、能帶入過多的水汽。㈧對于多層膜，在膜系設計時，就要考慮第一層膜與基片的匹配，盡可能考慮用Al2O3膜料，該膜料對大部分基片有較好的吸附力。對于金屬膜，也可考慮第一層鍍Cr或Cr合金。Cr或Cr合金對基片也有較好的吸附力。㈨采取研磨液（拋光液）復新去除鏡片表面的腐蝕層（水解層）㈩有時候適當降低蒸發(fā)速率對膜強度的提高有幫助，對提高膜表面的光滑度有積極意義。②膜層應力：其中非升華材料最容易產生膜料點，因為液態(tài)的膜料繼續(xù)加熱會沸騰，沸騰中膜料中

7、的氣泡溢出，飛濺膜料點的可能性加大。有時在材料預熔時就有很大的飛濺。膜料受潮，預熔或蒸鍍時水汽逸出，也會造成飛濺產生。下表是幾種常用膜料的升華特性材料名稱熔點溫度蒸發(fā)溫度飛濺可能備注ZnS19001100極小SiO217001600很小Al2O320202100小ZrO227152700小TiO218502000大Ta2O518002100較大MgF212661540大膜料不純、膜料參雜，即膜料中有了熔點溫度、蒸發(fā)溫度不一致的材料，這也

8、是膜料點產生的原因。改善思路：選用好的膜料、充分預溶、控制速率。改善對策：㈠選擇雜質少的膜料㈡對易飛濺的膜料選擇顆粒合適的膜料㈢膜料在鍍前用網(wǎng)篩篩一下㈣精心預熔，MgF2務必熔透一次蒸鍍所需膜料，而Ta2O5和TiO2必須徹底熔透。㈤用一把電子槍鍍制幾種膜料時，防治坩堝轉動中膜料參雜及擋板掉下膜料渣造成膜料污染。一旦發(fā)現(xiàn)坩堝膜料有污染，應立即更換。㈥盡最大可能使蒸發(fā)舟、坩堝干凈。（勤打掃）。㈦選擇合適的蒸發(fā)速率及速率曲線的平滑。特別是非

9、升華材料，蒸發(fā)速率不宜高。㈧膜料去潮，將待用膜料用培養(yǎng)皿盛放在真空室干燥注意：有時膜層內有一些細小的點子，有可能不是膜料點，而是灰塵點，處理的方法與膜料點不良是不同的，應嚴格區(qū)分，分別處理。三、膜色差異三、膜色差異膜色差異有二種（不包含色斑），一種是整罩上、中、下膜色不一致，即分光測試曲線有差異；二是單片膜色不一致。1上中下膜色不一致稱為整傘（罩）均勻性不好，也稱有傘差。主要產生原因是均勻性修正板（補正板）有問題。2傘片變形。也是膜色不

10、勻的原因之一，特別是使用了較久的傘片，以往是均勻的，慢慢變得不均勻了，傘片變形就可能是主要原因了。3膜料狀況的不一致，特別是升華和半升華膜料被打偏，挖坑等也會嚴重影響整罩和單片的均勻性。特別是有大量手工預熔時，各人的操作手法不一，得到的料況也會不一。改善思路：充分采用修正板的功能。改善對策：㈠調整修正板，盡量考慮高低折射率膜料的平衡兼容，如果有二個蒸發(fā)源，可能的條件下，獨立使用各自的修正板，避免干擾。㈡條件許可，采用行星夾具。㈢傘片整形