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文檔簡介
1、<p><b> 1 緒論</b></p><p><b> 1.1 引言</b></p><p> 1.1.1 硅微機械陀螺儀的背景</p><p> 微機械陀螺儀是基于微機械加工制造技術(shù)產(chǎn)生的高技術(shù)產(chǎn)品,是當代微機械電子系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域和慣性領(lǐng)域新興的重要的分支,而MEMS及其制造技術(shù)是在微電子工
2、藝的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的 的前沿研究領(lǐng)域,它涉及到電子工程、機械工程、材料科學、物理學、化學以及生物醫(yī)學等多種工程技術(shù)和學科。它是未來低成本、高精度、微尺寸、低功耗、抗高過載、高可靠性慣性測量原件的發(fā)展方向。它不僅用于武器裝備的慣性導航系統(tǒng)和姿態(tài)測量系統(tǒng)等軍事領(lǐng)域,同時還可以用于 、飛機、汽車、工業(yè)機器人、攝影、玩具、醫(yī)療器械的方向定位和姿態(tài)測量等民用商業(yè)領(lǐng)域。開展這一領(lǐng)域的研究工作,可以加速和促進我國對新型慣性測量原件的應用,這在高技術(shù)日
3、益發(fā)展的今天有十分重要的研究意義。用微機電系統(tǒng)慣性制導和控制代替常規(guī)系統(tǒng),特別是與GPS集合使用時,可提供精確度。針對這一背景,對硅微機械陀螺的研究具有深遠的戰(zhàn)略意義[1]。</p><p> 1.1.2 硅微機械陀螺儀的現(xiàn)狀</p><p> 微機械陀螺是21世紀微納米高科技領(lǐng)域中為電子系統(tǒng)(MEMS)最具有代表性的慣性期間,世界許多國家都在開展積極研發(fā)。硅材料結(jié)構(gòu)完整、彈性好、比較
4、容易得到高Q值(Q值是衡量電感器件的主要參數(shù),是指電感器在某一頻率的交流電壓下工作時,所呈現(xiàn)的感抗與其等效損耗電阻之比,電感器的Q值越高,其損耗越小,效率越高, 電感器品質(zhì)因數(shù)的高低與線圈導線的直流電阻、線圈骨架的介質(zhì)損耗及鐵心、屏蔽罩等引起的損耗等有關(guān))的微機械結(jié)構(gòu),隨著深反應離子刻蝕技術(shù)的出現(xiàn),體硅微機械加工技術(shù)的加工精度明顯提高,在硅襯底上用多品硅制作期間適宜批量生產(chǎn)、驅(qū)動和檢測較為方便,成為當前低成本研發(fā)的主流[2]。1988年
5、,美國Draper lab實驗室研制出第一臺框架式角振動微機電陀螺儀,1933年又研制出性能更佳的音叉式線振動陀螺儀,其引起世界各國的高度重視,紛紛投入財力物力開發(fā)研究。俄國莫斯科Vector Ltd正在研制精密的微機械陀螺,已經(jīng)論證和仿真實驗。英國Newscast大學和Durham大學合作,研究出了 振動模式硅微機械陀螺。經(jīng)過十多年的努力,目前在技術(shù)上已經(jīng)取得巨大進展,正在向中、高精度發(fā)展。硅微機械陀螺的結(jié)構(gòu)常用</p>
6、<p> 我國起步比較晚,目前在清華大學、北京大學、復旦大學、東南大學、中國科技大學、中北大學等高校,以及中科院、航天部、信息產(chǎn)業(yè)部等研究單位均開展通用硅微機械陀螺的研制,已在理論和加工工藝上取得巨大成果。10多年來研究隊伍逐漸擴大,本世紀初已形成40多個單位的50多個研究小組,在硅微機械方面開展了大量的研究工作,取得了長足的發(fā)展。</p><p> 目前世界各國研制的硅微機械陀螺主要是有驅(qū)動結(jié)構(gòu)
7、的通用硅微機械 ,無驅(qū)動結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)彈用硅微機械陀螺國外只有俄國在研究,目前有一維硅陀螺原型機,我國有兩維硅陀螺原型機[4]。</p><p> 1.1.3 本課題研究的方法與步驟</p><p> ?。?)學習并分析角速度陀螺信號采集原理;</p><p> ?。?)學習并設(shè)計角速度陀螺調(diào)理電路,研究角速度陀螺信號的測量及標定方法;</p><
8、p> ?。?)利用PROTEL軟件,研究角速度陀螺信號的測量及標定方法;</p><p> ?。?)綜上給出測量及標定方法;</p><p> (5)完成電路設(shè)計,實現(xiàn)硬件功能;</p><p> 2 角速度陀螺儀信號采集原理及標定方法</p><p><b> 2.1引言</b></p>&l
9、t;p> 2.1.1 陀螺儀的結(jié)構(gòu)</p><p> 陀螺儀的裝置,一直是航空和航海上航行姿態(tài)及速率等最方便實用的參考儀表。從力學的觀點近似的分析陀螺的運動時,可以把它看成是一個剛體,剛體上有一個萬向支點,而陀螺可以繞著這個支點作三個自由度的轉(zhuǎn)動,所以陀螺的運動是屬于剛體繞一個定點的轉(zhuǎn)動運動。更確切地說,一個繞對稱鈾高速旋轉(zhuǎn)的飛輪轉(zhuǎn)子叫陀螺。將陀螺安裝在框架裝置上,使陀螺的自轉(zhuǎn)軸有角轉(zhuǎn)動的自由度,這種裝
10、置的總體叫做陀螺儀[5],陀螺儀的基本部件有:</p><p> (1) 陀螺轉(zhuǎn)子(常采用同步電機、磁滯電機、三相交流電機等拖動方法來使陀螺轉(zhuǎn)子繞自轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn),并見其轉(zhuǎn)速近似為常值);</p><p> (2) 內(nèi)、外框架(或稱內(nèi)、外環(huán),它是使陀螺自轉(zhuǎn)軸獲得所需角轉(zhuǎn)動自由度的結(jié)構(gòu));</p><p> (3) 附件(是指力矩馬達、信號傳感器等) 。</
11、p><p> 陀螺儀的兩個基本特性:一為定軸性,另一個是進動性,它們都建立在角動量守恒的原則下[6]。</p><p> 定軸性:當陀螺轉(zhuǎn)子以高速旋轉(zhuǎn)時,若沒有任何外力矩作用在陀螺儀上時,陀螺儀的自轉(zhuǎn)軸在慣性空間中的指向保持穩(wěn)定不變,即指向一個固定方向;同時反抗任何改變轉(zhuǎn)子軸向的力量。這稱為陀螺儀的定軸性或穩(wěn)定性。其穩(wěn)定性隨以下的物理量而改變:1、轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動慣量愈大,穩(wěn)定性愈好;2、轉(zhuǎn)子角
12、速度愈大,穩(wěn)定性愈好。</p><p> 所謂“轉(zhuǎn)動慣量”,是描述剛體在轉(zhuǎn)動中慣性大小的物理量。當以相同的力矩分別作用在兩個繞定軸轉(zhuǎn)動的不同剛體上,它們所獲得的角速度通常是不一樣的,轉(zhuǎn)動慣量大的剛體所獲得的角速度小,也就是保持原有轉(zhuǎn)動狀態(tài)的慣性大;反之,轉(zhuǎn)動慣量小的剛體所獲得的角速度大,也就是保持原有轉(zhuǎn)動狀態(tài)的慣性小。</p><p> 進動性:當轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時,若外力矩作用于外環(huán)軸,
13、陀螺儀將繞內(nèi)環(huán)軸轉(zhuǎn)動;若外力矩作用于內(nèi)環(huán)軸,陀螺儀將繞外環(huán)軸轉(zhuǎn)動。其轉(zhuǎn)動角速度方向與外力矩作用方向互相垂直。這種特性,叫做陀螺儀的進動性。進動角速度的方向取決于動量矩H的方向(與轉(zhuǎn)子自轉(zhuǎn)角速度矢量的方向一致)和外力矩M的方向,而且是自轉(zhuǎn)角速度矢量以最短的路徑追趕外力矩。這可以通過右手定則來判定。即伸直右手,大拇指與食指垂直,手指順著自轉(zhuǎn)軸的方向,手掌朝外力矩的正方向,然后手掌與4指彎曲握拳,則大拇指的方向就是進動角速度的方向。</
14、p><p> 進動角速度的大小取決于外力矩M的大小和轉(zhuǎn)子動量矩H的大小,其計算式為 =M/H。進動性的大小也有三個影響的因素:</p><p> 1、外界作用力愈大,其進動角速度也愈大;</p><p> 2、轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動慣量愈大,進動角速度愈??;</p><p> 3、轉(zhuǎn)子的角速度愈大,進動角速度愈小。</p><p&
15、gt; 2.1.2 陀螺儀的主要參數(shù)</p><p> 電源(V):這個參數(shù)規(guī)定了陀螺儀正常工作所需的直流電源電壓范圍;</p><p> 電源電流(mA):這個參數(shù)規(guī)定了陀螺儀正常工作所消耗的電流大??;</p><p> 睡眠模式電源電流 (mA):這個參數(shù)規(guī)定了陀螺儀在睡眠模式下所消耗電流;</p><p> 關(guān)機模式下的電源電
16、流(μA):該參數(shù)規(guī)定了陀螺儀電源關(guān)閉時所消耗電流;</p><p> 全量程(dps):這個參數(shù)規(guī)定了陀螺儀的量程范圍;</p><p> 零速率輸出值(電壓或最低效位):這個參數(shù)規(guī)定了當陀螺儀沒有被施加角速率時的零速率輸出信號的數(shù)值;</p><p> 靈敏度(mV/dps或dps/LSB):這個參數(shù)規(guī)定了在零速率輸出值時1dps與模擬陀螺儀輸出電壓變化的
17、關(guān)系,用mV/dps表示;</p><p> 數(shù)字陀螺儀的靈敏度(dps/LSB)表示1個最低有效位與dps的關(guān)系;</p><p> 靈敏度變化與溫度關(guān)系(%/°C):這個參數(shù)規(guī)定了當溫度偏離25℃室溫時,以℃為單位的靈敏度百分比變化;</p><p> 零速率輸出值變化與溫度關(guān)系(dps/℃):這個參數(shù)規(guī)定了當溫度偏離25℃室溫時,以℃為單位的零
18、速率輸出值的變化;</p><p> 非線性(%FS):這個參數(shù)規(guī)定了陀螺儀輸出與最佳匹配直線之間的最大誤差占全量程(FS) 的百分比;</p><p> 系統(tǒng)帶寬(Hz):這個參數(shù)規(guī)定了角速率信號頻率范圍:從直流到模擬陀螺儀可測量的內(nèi)部帶寬(BW);</p><p> 速率噪聲密度(dps/Hz):這個參數(shù)規(guī)定了能夠從陀螺儀輸出以及BW參數(shù)獲得的模擬陀螺儀和
19、數(shù)字陀螺儀的標準分辨率;</p><p> 自測 (mV or dps):這個功能可用于測試陀螺儀工作是否正常。這個功能的好處是在陀螺儀安裝到印刷電路板后無需旋轉(zhuǎn)印刷電路板即可測試陀螺儀[7]。</p><p> 2.1.3 微機械陀螺儀的工作原理</p><p> 微機械陀螺儀利用了哥氏力現(xiàn)象[8],其原理如圖2.1所示。當圖中的物體沿X軸做周期性振動或其他
20、運動時,并且XY坐標系沿Z軸做角速度為Ωz旋轉(zhuǎn)運動,就會在該物體上產(chǎn)生一個沿Y軸方向的哥氏力。 </p><p> 圖2.1 哥氏力現(xiàn)象</p><p> 2.1.4 陀螺儀校準</p><p> 陀螺儀在出廠前都經(jīng)過嚴格的性能測試以及靈敏度和零速率輸出值校準[9]。不過,當陀螺儀組裝到印刷電路板后,因為機械或電焊應力的影響,零速率輸出值和靈敏度可能會略微偏離
21、工廠校準調(diào)試值。對于游戲機和遙控器等應用,設(shè)計人員只要用數(shù)據(jù)表中的典型零速率和靈敏度參數(shù),即可把陀螺儀的測量信號轉(zhuǎn)換成角速率。對于要求嚴格的應用,設(shè)計人員需要重新校準陀螺儀的零速率輸出值、靈敏度和以下重要參數(shù):</p><p> ?。?)失準 (又稱跨軸靈敏度);</p><p> ?。?)線性加速度靈敏度或g-靈敏度;</p><p> ?。?)長期運行偏差穩(wěn)定性
22、;</p><p> (4)導通-導通偏差穩(wěn)定性;</p><p> ?。?)長時間工作后偏差和靈敏度漂移。</p><p> 為修正導通-導通偏差不穩(wěn)定性,在陀螺儀上電后,用戶可以采集50~100個輸出數(shù)據(jù)樣本,取這些樣本的平均值作導通零速率輸出值R0 ,假設(shè)該陀螺儀是靜止狀態(tài)。因為溫度變化和測量噪聲,當陀螺儀是靜止狀態(tài)時,陀螺儀的每次讀數(shù)可能略有不同。設(shè)定一
23、個閾值 Rth ,如果陀螺儀測量值的絕對值小于閾值,則使陀螺儀的讀數(shù)歸零。這個方法將消除零速率噪聲,當陀螺儀靜止時,角位移不會累加。 </p><p> 每當陀螺儀靜止時,用戶可以采集50~100個陀螺儀數(shù)據(jù),然后取這些樣本的平均值作為零速率輸出值R0。這個方法可以消除零速率運行偏差和微小溫度變化。 </p><p> 在零速率采樣后,必須從上面的幾步開始考慮不穩(wěn)定性因此。應該強
24、調(diào)的是,MEMS陀螺儀的靈敏度非常穩(wěn)定,受工作時間和環(huán)境溫度的影響很小,僅上面提到的高靈敏度應用才需要校準過程。使用角速率測量臺確定靈敏度,因為陀螺儀能夠直接測量角速率,所以角速率測量臺是校準陀螺儀靈敏度的最佳參考標準。在一個精確角速率測量臺內(nèi)有一個內(nèi)嵌溫度單元。為了確保在校準陀螺儀過程中角速率測量臺不受環(huán)境振動的影響,角速率測量臺被置于一個振動隔離平臺之上。 </p><p> 把手持設(shè)備置于一個正方體的鋁盒
25、或塑料盒內(nèi),然后把整個系統(tǒng)安裝在角速率測量臺上進行校準。使角速率測量臺沿順時針和逆時針兩個不同方向旋轉(zhuǎn)。如果被校準的是多軸陀螺儀,把方正形測試盒置于角速率測量臺上的不同方位,然后重復上面的校準過程。收集完陀螺儀在不同狀況下的原始數(shù)據(jù)后,即可確定零速率輸出值、靈敏度、失準矩陣和g靈敏度值。 </p><p> 校準陀螺儀還可以選用步進電機旋轉(zhuǎn)測量臺,用一臺個人電腦控制步進電機旋轉(zhuǎn)測量臺。使用數(shù)字羅盤確定靈敏度,如
26、果沒有角速率測量臺,可以使用數(shù)字羅盤代替角速率測量臺。在校準陀螺儀前,需要校準數(shù)字羅盤的傾斜度,然后將其置于周圍沒有干擾磁場的平臺上。</p><p> 2.2 信號的采集與標定</p><p> 單晶硅擺儀角速度φ旋轉(zhuǎn)時,偏轉(zhuǎn)角α的變化將導致單晶硅擺和玻璃電極極板構(gòu)成的四個電容C1、C2、C3、C4發(fā)生變化。將電容變化信號轉(zhuǎn)換成電壓信號之后放大,即可得到幅值與被測角速度Ω對應的電壓信
27、號[10]。旋轉(zhuǎn)載體用硅微機械陀螺的電容變化率較小,容易受分布電容的,因此,信號測量采用交流電橋作借口的變換電路,將電容式敏感原件作交流電容電橋的工作臂,電橋供電電源為等幅高頻穩(wěn)定交流電壓。工作電容變化時,在電橋輸出端可獲得受工作電容變化調(diào)制的調(diào)幅信號輸出,調(diào)幅信號經(jīng)放大、解調(diào)后,獲得低頻信號輸出 。</p><p> 圖2.2 硅微機械信號測量電路原理圖</p><p> 2.2.1
28、 信號的處理</p><p> 硅微機械陀螺的電容變化率較小,容易受分布電容的,因此,信號測量采用交流電橋作借口的變換電路,將電容式敏感原件作交流電容電橋的工作臂,電橋供電電源為等幅高頻穩(wěn)定交流電壓。工作電容變化時,在電橋輸出端可獲得受工作電容變化調(diào)制的調(diào)幅信號輸出,調(diào)幅信號經(jīng)放大、解調(diào)后,獲得低頻信號輸出,最后還要進行電路上的相位補償,補償由電路引起的相位誤差。信號放大部分采用的是差分放大的方法。帶通濾波主要
29、完成直流信號的隔離和高頻載波的濾除,取出還有姿態(tài)信息的有用信號[11]。</p><p> 從傳感器及其特征噪聲、阻抗、響應和信號幅度入手,實現(xiàn)最低的折合到輸入端(RTI)噪聲將能夠優(yōu)化信噪比(SNR)。先解決增益和功耗需求、然后再努力應對噪聲問題的方法相比,圍繞著低噪聲來解決問題將更加有效。這是一個重復的過程,首先考慮放大器的工作區(qū):寬帶或1/f。接著,挑選合適的有源器件,設(shè)計最佳的噪聲特性。在放大器周圍放置
30、無源器件,并限制帶寬。然后分析非噪聲需求,如輸入阻抗、電源電流和開環(huán)增益。如果沒有達到噪聲指標,則重復這一過程,直到獲得可以接受的解決方案為止[12]。信號處理的步驟如下:</p><p> 1.運算放大器的選擇</p><p> 在一些情況下,寬帶噪聲為22nV /dB的運算放大器可能優(yōu)于寬帶噪聲為10nV/dB的器件。如果傳感器工作在極低的頻率下,那么,具有低1/f噪聲的放大器可能
31、是最好的。ADI公司的OP177等標準放大器的噪聲頻譜密度類曲線。自穩(wěn)零放大器能連續(xù)校準輸入端隨時間和溫度的變化而出現(xiàn)的任意誤差。由于1/f噪聲漸進的逼近直流,放大器也能校準這一誤差。第一代自穩(wěn)零放大器不表現(xiàn)出1/f噪聲,因而適用于低頻傳感器信號調(diào)理。第二代自穩(wěn)零放大器具有較低的寬帶噪聲(22nV /dB),通過PSpice宏模型能精確的仿真放大器電壓噪聲,顯示出1/f噪聲已被消除[13]。</p><p>&l
32、t;b> 2.軌到軌輸入</b></p><p> 對于低壓設(shè)計來說,軌到軌(RR)輸出和輸入可能是適合的。當共模輸入從一條軌轉(zhuǎn)到另一條軌時,一個差分輸入對停止工作,另一個差分輸入對則接著工作。失調(diào)電壓和輸入偏置電流可能突然變化,引起的失真。對于低噪聲設(shè)計來說,請檢查對軌到軌輸入特性的需求。為了解決這個問題,ADI公司的AD8506 等運算放大器使用內(nèi)部電荷泵來消除輸入電壓交越失真。如果設(shè)計
33、不正確,而使電荷泵產(chǎn)生的噪聲落入有用頻帶時,這些噪聲將會出現(xiàn)在輸出端,引起問題。</p><p><b> 3.偏置電流消除</b></p><p> 最新的雙極性運算放大器使用一種技術(shù)來消除輸入偏置電流造成的部分影響,這個技術(shù)會增加不相關(guān)或相關(guān)的電流噪聲。對于一些放大器來說,相關(guān)噪聲可能大于不相關(guān)噪聲。例如:ADI公司的OP07增加阻抗平衡電阻,就能改進整體噪聲
34、。ADI公司兩款廣泛應用的運算放大器,一款是用較高電壓噪聲換取較低電流噪聲的OP07,另一款是OP27。從可獲得的低噪聲器件中選擇三到四個器件??紤]工藝技術(shù),尋找自穩(wěn)零、斬波和偏置電流消除等專業(yè)設(shè)計技術(shù)。從晶圓照片查看輸入晶體管區(qū)域,大輸入晶體管的噪聲較低,但具有大的輸入電容,而CMOS和JFET放大器的電流噪聲遠小于雙極性器件。低噪聲設(shè)計要使用小電阻,所以放大器輸出驅(qū)動必須足夠大,以驅(qū)動大負載。</p><p>
35、;<b> 4.無源元件的選擇</b></p><p> 選擇放大器之后,在放大器周圍放置合適的電阻和電容,而這些元件也有噪聲。輸出噪聲隨著用于設(shè)置增益的電阻的增大而增大。在忽略R1和R2的噪聲,集中考慮源阻抗R的噪聲,當R值較小時,電壓噪聲占主導地位;當R值為中等大小時,John噪聲占主導;當R值較大時,電流噪聲的貢獻較大。因此,低輸出阻抗的傳感器應該使用小電阻和具有低電壓噪聲的運算放
36、大器。除電阻之外,電容也能用于補償和減小噪聲。電抗元件不增加任何噪聲,但流經(jīng)它們的噪聲電流將產(chǎn)生噪聲電壓,影響計算??傊?,重要的是在放大器周圍使用低阻抗來降低電流噪聲、熱噪聲和EMI雜散干擾拾取的影響。</p><p><b> 5.帶寬選擇</b></p><p> 選擇好放大器以及相關(guān)的電阻和電容之后,下一步是設(shè)計最佳帶寬(BW)。不要設(shè)計過寬的帶寬,帶寬應該
37、足夠通過基頻和重要的諧波,但不要過寬。選擇具有足夠帶寬的放大器,在其后放置RC濾波器,放大器本身也是單極點濾波器。放大器和電阻在帶寬范圍內(nèi)都有噪聲,因此,帶寬越大,輸出噪聲越大,SNR越低。為限制附加的噪聲,帶寬應該盡可能的窄。為限制帶寬,在傳感器之后使用 RC 濾波器,產(chǎn)生的負載問題可使用緩沖器來解決。具有適配規(guī)格和配置的放大器(放大器帶寬為350MHz)和ADC將具有166μVrms的噪聲。在運算放大器之后增加RC濾波器后,將產(chǎn)生5
38、0MHz的有效帶寬,能把噪聲降低到56μVrms。使用正確的RC減小帶寬能極大的提高SNR,但是電阻本身會增加噪聲。降低帶寬的另一個更好的辦法是設(shè)計一個的電路,使其電阻放入運算放大器的反饋環(huán)路中,將其影響降低(1+環(huán)路增益)倍,不要忘了在電源引腳使用足夠的去耦電容來降低信號路徑的電源噪聲。 </p><p> 圖2.3 信號處理電路框圖</p><p><b> 2.2.
39、2信號標定</b></p><p> 信號處理電路主要由穩(wěn)壓器、脈沖發(fā)生器、電橋、信號差分放大器、帶通濾波器和相敏解調(diào)器等構(gòu)成,以下是對各個電路的分析說明[14]。</p><p><b> (1)脈沖振蕩電路</b></p><p> 用脈沖方波給電容充電,振蕩電路由施密特觸發(fā)器7Z14和電阻、電容組成、REF195給振蕩電
40、路提供穩(wěn)定的5V基準電壓。在接通電源時,電容上的電壓從0V開始按RC充放電的指數(shù)形式上升變化,當上升電壓超過施密特觸發(fā)器的閥值電壓Vp時,就判定輸入為高平,于是反相器的輸出變?yōu)榈碗娖?V,輸出為低電平時,電容C中充電電荷又通過電阻R放電,當C上電壓降到閥值電壓Vn時,判定為低電平,到達閥值時,輸出低電平。這樣復始周期高壓電平的變化,就形成了一定頻率 方波信號,決定此電路的振蕩頻率的是RC的時間常數(shù)。振蕩周期的倒數(shù)是頻率,振蕩周期等于充放
41、電的時間之和,根據(jù)理論計算振蕩周期近似等于T=0.6RC。</p><p><b> (2)差分放大部分</b></p><p> 差分放大采用美國ADI公司的儀表集成運算放大器AD620,它運放功耗低,最大電流只有1.3毫安,線性度高,50uV的失調(diào)電壓,0.6uV/℃的溫度漂移,低噪音,低輸入偏置電流。只用一個電阻即可在1~1000內(nèi)調(diào)節(jié)放大倍數(shù),芯片采用正負
42、雙電源供電,為防止外界的干擾信號通過電源引入芯片,在芯片的電源引腳邊加上濾波電容。電容敏感信號接到AD620的2,3腳,在6腳輸出,雙端輸入,單端輸出。</p><p> 圖2.4差分放大電路</p><p> ?。?)濾波放大電路部分</p><p> AD620的輸出信號經(jīng)過隔直電容后進行濾波放大。這部分電路兼具信號濾波和放大作用。在運放的3腳接了一個R6,
43、此電阻是直流偏置電阻,為放大器提供直流偏置。輸入直流信號時,放大倍數(shù)由R8和R7的比值決定,當輸入信號的頻率逐漸變大時,由于電容的容抗與通過它的頻率 ,所以頻率變大,C22容抗變小,C22和R8組成的等效阻抗變小,運放輸出電壓就變小。當頻率高于一定值后,就失去了放大作用。因此我們可以粗略的估計一個截至頻率,讓截止頻率的信號順利通過,高于截至頻率的信號衰減。截至工作頻率由RC時間常數(shù)決定。在這一部分中可以調(diào)整R8和R7的大小來確立比例系數(shù)
44、的大小。</p><p> 圖2.5 放大濾波電路</p><p><b> ?。?)低通濾波</b></p><p> 低通濾波部分采用有源的二階低通濾波器。低通濾波器的作用是讓截至頻率以上的信號。理論上是這樣,但實際上幅頻特性曲線不可能做到當高于某一頻率時直線下降,而是隨著頻率的增加,緩慢的衰減。設(shè)置此部分電路的Q值為1,根據(jù)RC時間常
45、數(shù)值,算出截至頻率為ω=1/RC。根據(jù)不同陀螺使用的不同要求,可以調(diào)整R、C的大小來滿足測量范圍的要求。</p><p><b> 圖2.7 低通濾波</b></p><p><b> 3.陀螺信號的測量</b></p><p><b> 3.1引言</b></p><p&g
46、t; 在學習了解硅微機械陀螺的結(jié)構(gòu)原理幾信號值后,開始對其信號經(jīng)行測試。這是初步的測試,硅微機械陀螺的輸出信號是由多個姿態(tài)信息混合在一起的復合信號。交流電壓只是表示測量信號的有效值,不是測量瞬時值,不能反映信號的及時特性,也不便于仿真,建立數(shù)字測試系統(tǒng)就成為必須。</p><p> 圖3.1 數(shù)字測試系統(tǒng)框圖</p><p> 陀螺信號是通過采樣開關(guān)進入測試系統(tǒng),信號在通過采樣開關(guān)以
47、及數(shù)字電壓表的時候,不可避免的會受到干擾,而且會隨著元器件的老化而加大干擾,對陀螺的測試造成很大的問題,所測得的數(shù)據(jù)并不能真實反映陀螺本身的性能,使陀螺達不到技術(shù)指標,這就必須在信號進入時測試中心時進行A/D轉(zhuǎn)換。考慮到系統(tǒng)需要A/D轉(zhuǎn)換及能夠完成信號處理的要求,在次選用TI公司的MSC1214系列的單片機作為測試系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集器。它擁有24位的高精度采樣器并采用先進的△-∑采樣技術(shù),完全可以滿足系統(tǒng)的要求。使其跟陀螺儀安裝一起,采樣程
48、序可燒寫到單片機中,配合計算機中的軟件組成整個測試系統(tǒng)。具體的實現(xiàn)以后章節(jié)詳盡介紹,計算機中軟件編寫采用C語言。</p><p> 3.2 陀螺信號的測試</p><p> 對硅微機械陀螺的幾個主要特性的測試:</p><p> (1)分辨率:0.05(°)/s;</p><p> (2)零 位:DC 1.4mV,AC(仿
49、真器以一定頻率)20.2 mV;</p><p> ?。?)當仿真器以不同頻率旋轉(zhuǎn)時,輸出信號與輸入角速度的關(guān)系。</p><p> 表3.1 輸出信號與輸入角速度的關(guān)系(高速時)</p><p> 表3.2輸出信號與輸入角速度的關(guān)系(低速時)</p><p> 4 硅微機械陀螺信號的處理及標定</p><p>
50、<b> 4.1引言</b></p><p> 從理論及分析和測試結(jié)果看,硅微機械陀螺信號的輸出信號是一個動態(tài)的信號,它不受角速度的影響,從中提取有用的姿態(tài)信息,就是我們研究的主要內(nèi)容[15]。</p><p><b> 4.2 信號的特征</b></p><p> 角振動幅度為:α=Η(φ) Ωsin(φt),&
51、lt;/p><p> 其中Η(φ)=(C+B-A)φ{(diào)[( C-B-A)φ^2+Kτ]^2+(Dφ)^2};</p><p> 假設(shè)整個檢測和處理電路的傳遞函數(shù)為I,那么經(jīng)過電容檢測和預處理后,輸出的信號電壓U可以表示為:U=IΗ(φ)Ωsin(φt); </p><p> 如果將被測角速度Ω在相對于硅擺,分為偏航角速度β。和俯仰角速度γ。;當只有偏航角速度時,陀
52、螺經(jīng)過電容 電路輸出的理想電壓信號簡化為:</p><p> Ux=IxΗ(φ)β。sin(φt);當只有俯仰角速度時:Uy=IyΗ(φ)γ0cos(φt);則二者都有時為:U=Ux+Uy= Ux=IxΗ(φ)β。sin(φt)+ Uy=IyΗ(φ)γ。cos(φt)。</p><p><b> 4.3 信號的解調(diào)</b></p><p>
53、 在分析硅微機械陀螺信號特征之后,處理的方法很多,考慮到便于實現(xiàn)的角度出發(fā),解調(diào)信號的數(shù)字方法又很少,包括最小誤差解調(diào)和峰值檢測和相位比較解調(diào)。我們這里采用較為常用的相位比較解調(diào)。</p><p> 4.3.1 算法原理</p><p> 由上所訴得U=Ux+Uy= Ux=IxΗ(φ)β。sin(φt)+ Uy=IyΗ(φ)γ。cos(φt)變形可得U=Mcos(φt+θ),其中M=
54、(A1^2+B1^2)^1/2;</p><p> Θ=arctan(-A1/B1),A1≧0;Θ=arctan(-A1/B1)+ π,A1≦0;</p><p> 由此得到M就是信號的峰值點,可以利用檢測峰值點的辦法可以得到角速度的大小,卻無法得到橫向角速度的方向即Θ。為了得到Θ的值,利用重力加速度計的信號。理想情況下重力加速度在載體自轉(zhuǎn)時的輸出信號為:U1=C cos(φt),其中
55、C為常量。比較上式可知,U1是U的載波,只要比較它們的相位即可得到Θ,也確定了橫向角速度的方向,這就是峰值檢測與相位比較的方法。</p><p> 4.3.2 算法的實現(xiàn)</p><p> 從算法原理知,峰值檢測和相位比較解調(diào)的方法較簡單,通過以下步驟即實現(xiàn):</p><p> ?。?)分別記錄重力加速度計和陀螺信號的過零點時間和過零點的方向;</p>
56、;<p> (2)分別計算重力加速度計和陀螺信號的相鄰過零點的時間間隔;</p><p> (3)補償由安裝角度引起的相位差及重力加速度計和陀螺信號本身的相位差;</p><p> (4)據(jù)陀螺和重力加速度計過零點時間間隔和過零點的方向求其間的相位差;</p><p> (5)檢測出陀螺信號的峰值;</p><p>
57、通過以上步驟就可完成陀螺信號的解調(diào),便于實現(xiàn)。</p><p> 5 陀螺信號的軟硬件實現(xiàn)</p><p><b> 5.1 引言</b></p><p> 在解決了算法的問題后,接下來我們要實現(xiàn)硬件電路的設(shè)計。目前國內(nèi)外信號處理現(xiàn)狀是模擬多路開光(MUX)、程控放大器(PGA)、采樣/保持器、A/D和D/A轉(zhuǎn)換器等功能器件集成到一塊PC
58、B板上進行信號的處理。為了能夠更科學經(jīng)濟的對陀螺信號的檢測與標定,這里采用TI的MSC1210單片機,MSC1210作為一款高性能的內(nèi)核兼容8051的單片機,其開發(fā)的方便、靈活和高精度ADC的使用滿足了使用者的要求,其指令執(zhí)行速度更是實時系統(tǒng)所渴求的,可廣泛用于工業(yè)過程控制、醫(yī)療儀器、智能傳感器等各個領(lǐng)域。</p><p> 5.2 MSC1210的結(jié)構(gòu)與性能</p><p> TI的
59、MSC1210單片機解決了上述問題。它有3個16位的定時器,16位PWM波輸出,多達21個中斷源,32個數(shù)字輸入/輸出端口,帶有看門狗,8路ADC提供24位分辨率可編程的無丟失碼解決方案,可編程增益放大(PGA)在1~128之間可調(diào),極大提高了ADC精度,供電電源2.7~5.25 V,在3 V時功耗低于4 mW,停止方式電流小于1μA,內(nèi)核兼容8051,指令與8051完全兼容,可以使用原有8051開發(fā)系統(tǒng),時鐘頻率可達33 MHz,單周
60、期指令執(zhí)行速度達8 MIPS,執(zhí)行速度比標準8051快3倍,高達32 KB的Flash存儲器,SRAM達1.2 KB,外部可擴展至64 KB存儲器,F(xiàn)lash在電壓低達2.7 V時仍可串行或并行編程,可10萬次擦除/寫操作,具有32位累加器,有電源管理功能,能夠進行低電壓檢測,在片上電復位,帶FIFO的SPI端口,雙UART,64TQFP封裝,MSC1210系列的硬件和引腳完全兼容,必要時可以互換。</p><p&g
61、t; 圖5.1 MSC1210單片機的引腳圖</p><p> 表5.1 MSC1210的Flash分區(qū)</p><p> 注:當程序空間選擇0KB時,程序在片外執(zhí)行;"一"表示保留。</p><p> 5.3 接口電路的設(shè)計</p><p> 5.3.1 陀螺的接口電路</p><p>
62、 根據(jù)MSC121x的電器參數(shù)可知,當AVdd=5V時,模擬信號輸入的范圍0V~5V,而陀螺的輸出電壓大概在-10V~+10V左右,為了達到采樣的要求陀螺信號在進入單片機之前進行處理,其方法是先將陀螺信號縮放到的1/4,進過放大電路的電壓信號是-2.5V~+2.5V,再將它抬高到0V~5V,這樣就達到了單片機模擬電壓的采樣要求。</p><p> 圖5.3陀螺的接口原理圖</p><p&g
63、t; 5.3.2 重力加速度計的接口電路</p><p> 重力加速度計信號中的直流分量會在不同轉(zhuǎn)速下有很大的變化。為了解決這個問題,首先對信號進行隔直流的辦法把直流分量濾掉,然后再加上2.5V的直流電壓上去,這樣不但解決了上述的直流不穩(wěn)定問題,也解決了單片機采樣中公共基準零點的電壓問題。</p><p> 圖5.4 重力加速度計的接口電路</p><p>
64、 5.3.3 外圍電路的設(shè)計</p><p> 綜合MSC121x芯片等元器件的選擇以及振蕩器時鐘功能可靠性,我們采用33MHz的晶體振蕩器。</p><p><b> ?。?)時鐘電路:</b></p><p> 圖5.5 晶振時鐘電路圖</p><p><b> ?。?)復位電路:</b>&
65、lt;/p><p> 為確保微機電路系統(tǒng)中穩(wěn)定可靠工作,復位電路是必不可少的一部分,復位電路的第一功能是上電復位。一般微機電路正常工作需要供電電源為5V±5%,即4.75V~5.25V。由于微機電路是時序數(shù)字電路,它需要穩(wěn)定的時鐘信號,因此在電源上電時,只有當VCC超過4.75V低于5.25V以及晶體振蕩器穩(wěn)定工作時,復位信號才被撤除,微機電路開始正常工作。</p><p><
66、;b> 圖5.6 復位電路</b></p><p> ?。?)串口通信電路:</p><p> 該系統(tǒng)實現(xiàn)串口模塊主要是與上位機進行通信,單片機單片機 [全文]系統(tǒng)將采到的數(shù)據(jù)送到上位機進行處理,從而減輕單片機 單片機是單片微型計算機(Single-Chip Microcomputer)的簡稱,是一種將中央處理器CPU隨機存儲器RAM、只讀存儲器ROM、多種I/O口
67、和中斷系統(tǒng)、定時器/計時器等功能(可能還包括顯示驅(qū)動電路、脈寬調(diào)制電路、模擬多路轉(zhuǎn)換器、A/D轉(zhuǎn)換器等電路)采用超大規(guī)模集成電路技術(shù)集成到一塊硅片上構(gòu)成的微型計算機系統(tǒng)。 系統(tǒng)的處理負擔。由于單片機與上位機進行通信時接口電平不同,因此需要進行接口轉(zhuǎn)換,這里采用來MAX323完成接口電平的轉(zhuǎn)換。</p><p> 圖5.7串口通信電路</p><p><b> 5.4 軟件設(shè)計
68、</b></p><p> 5.4.1 系統(tǒng)框架圖</p><p><b> 圖5.8程序流程圖</b></p><p> 5.4.2 主程序:</p><p> ?。 nclude <stdio.h> </p><p> ?。 nclude <REGX51
69、.H> </p><p> ?。 nclude "iic.h" </p><p> #define uchar unsigned char </p><p> #define uint unsigned int </p><p> uint Timer_Pro_Flag=0; </p><
70、p> sbit TEST_CAP_VOL_CRLT=P1^0; </p><p> sbit PWM_Pin=P3^7; </p><p> sbit IrDA_in_Pin=P1^0; </p><p> bit PWMFlag=0; </p><p> uchar OLD_TH0,OLD_TL0; </p>
71、<p> #define MAXCMD_LENGTH 7 </p><p> #define AD_VOL_PER 1.04058 </p><p> #define AD_Loop_PickVol_PER 1.04058</p><p> sbit WDTRST=0xA6;</p><p> sbit ADCLK=P2^
72、0; </p><p> sbit ADOUT=P2^1; </p><p> sbit ADCS=P2^2; </p><p> |端口 | INH C B A | | | </p><p> |------ 7 6 5 4 3 2 1 0 | 正值 | 取反 | </p><p> | 0 |0 0 0
73、0 0 0 0 0 | 0x00 | 0xff | </p><p> | 1 |0 0 0 0 0 0 1 0 | 0x02 | 0xf7 | </p><p> | 2 |0 0 0 0 0 1 0 0 | 0x04 | 0xfb | </p><p> | 3 |0 0 0 0 0 1 1 0 | 0x06 | 0xf3 | </p>&l
74、t;p> | 4 |0 0 0 0 1 0 0 0 | 0x08 | 0xfd | </p><p> | 5 |0 0 0 0 1 0 1 0 | 0x0A | 0xf8 | </p><p> | 6 |0 0 0 0 1 1 0 0 | 0x0C | 0xf9 | </p><p> | 7 |0 0 0 0 1 1 1 0 | 0x0e | 0
75、xf1 | </p><p> uchar CD4051_NUM[]={0x00,0x02,0x04,0x06,0x08,0x0A,0x0C,0x0e}; </p><p> sbit CD4051_A=P1^1; </p><p> sbit CD4051_B=P1^2; </p><p> sbit CD4051_C=P1^3;
76、</p><p> sbit CD4051_INH=P1^4; </p><p> bit CD4051_Vol_Conver_Flag=0;</p><p> uchar LedCount=0; </p><p> uchar LED_BIT[5]; </p><p> uchar LED_NUM[]={0
77、x00,0x10,0x20,0x40,0x80};</p><p> void SendByte(unsigned char word) </p><p><b> { </b></p><p><b> TI=0; </b></p><p> SBUF=word; </p>
78、<p> while(TI==0); </p><p><b> TI=0; </b></p><p> uchar ComBuf[MAXCMD_LENGTH]; </p><p><b> }</b></p><p> void delay(uint t) </p>
79、<p><b> { </b></p><p> uint i=0; </p><p> for(;i<=t;i++); </p><p><b> } </b></p><p> void Pluckdelay(uint t) </p><p>
80、;<b> { </b></p><p> uint i=0,j; </p><p> for(;i<=t;i++) </p><p> for(j=1;j<=1000;j++); </p><p><b> } </b></p><p> void
81、SetCheckSUM() </p><p><b> { </b></p><p> ComBuf[5]=0x01+~(ComBuf[0]+ComBuf[1]+ComBuf[2]+ComBuf[3]+ComBuf[4]); </p><p> bit ISCheckSUM() </p><p> uchar c
82、rc; </p><p> crc=0x01+~(ComBuf[0]+ComBuf[1]+ComBuf[2]+ComBuf[3]+ComBuf[4]); </p><p> if(ComBuf[5]==crc) </p><p> return 1; </p><p><b> else </b></p&g
83、t;<p><b> { </b></p><p> ComBuf[1]=crc; </p><p> ComBuf[2]=ComBuf[5]; return 0; </p><p><b> } </b></p><p> void WaitComm() </p>
84、;<p><b> { </b></p><p> uchar n=0; </p><p><b> RI=0; </b></p><p> while (1) </p><p><b> { </b></p><p> whi
85、le(!RI);</p><p> ComBuf[n]=SBUF; </p><p><b> RI=0; </b></p><p> SBUF=ComBuf[n]; </p><p> if (ComBuf[n]==0x7e) break;</p><p> if (n>=MAX
86、CMD_LENGTH) </p><p><b> n=0;</b></p><p><b> else </b></p><p><b> n++; </b></p><p><b> } </b></p><p> v
87、oid SendByteArray() </p><p><b> { </b></p><p> unsigned i; </p><p> SetCheckSUM();</p><p> ComBuf[4]=P0;</p><p> ComBuf[6]=0x7e;</p>
88、<p> for(i=0;i<=MAXCMD_LENGTH-1;i++) </p><p><b> { </b></p><p> SendByte(ComBuf[i]); </p><p> WritePortData() ;</p><p><b> }</b>&
89、lt;/p><p> void SetEA() </p><p><b> { </b></p><p> if (ComBuf[1]==0x00) </p><p> EA=ComBuf[3]; </p><p><b> else </b></p>&
90、lt;p> ComBuf[3]=EA; </p><p> SendByteArray();</p><p><b> } </b></p><p> void Befor_Once_AD() </p><p><b> { </b></p><p><
91、b> uchar i; </b></p><p> ADCLK=ADOUT=0; </p><p> ADCS=0; for(i=1;i<=10;i++) </p><p><b> ADCLK=1; </b></p><p><b> ADCLK=0; </b>&
92、lt;/p><p><b> ADCS=1; </b></p><p> delay(25); </p><p><b> GetAD()</b></p><p> sbit ADCLK=P2^0; </p><p> bit ADOUT=P2^1; </p&
93、gt;<p> sbit ADCS=P2^2;</p><p><b> } </b></p><p> void GetAD() </p><p><b> { </b></p><p> uchar i=1,w,PickCount; </p><p&
94、gt; uint vol; </p><p> Befor_Once_AD();</p><p> if (ComBuf[1]==0)ComBuf[1]=0x01; </p><p> PickCount=ComBuf[1]; </p><p><b> }</b></p><p>
95、for(w=1;w<=PickCount;w++) </p><p><b> { </b></p><p> ADCLK=ADOUT=0; </p><p><b> vol=0; </b></p><p> ADCS=0; /for(i=1;i<=10;i++) </p
96、><p><b> ADCLK=1; </b></p><p><b> vol<<=1; </b></p><p> if(ADOUT)vol|=0x01; </p><p><b> ADCLK=0; </b></p><p><
97、;b> ADCS=1; </b></p><p> delay(21);</p><p> ComBuf[1]=w;/</p><p> Convert_AD_VOL_ValueToChar(vol);</p><p><b> P2=0xff; </b></p><p&g
98、t;<b> } </b></p><p> void GetAD_With_VOL_Filter() </p><p><b> { </b></p><p> TestCapCount() * </p><p> void TestCapCount() </p><
99、p><b> { </b></p><p> uint Vol,TempVol=0xff,Count=0,temp1,temp2; </p><p><b> }</b></p><p> uchar i,CAPDELAYTIME; </p><p> float TEST_CAP_
100、OUT_value="/0.05;" </p><p> P1=CD4051_NUM[1]; TEST_CAP_VOL_CRLT=0;</p><p> if (ComBuf[1]==0x00) </p><p><b> { </b></p><p> for(i=0;i<=ComBu
101、f[2];i++)delay(60000); </p><p> TEST_CAP_VOL_CRLT=1;</p><p> TEST_CAP_OUT_value="/0.01; } </p><p> CAPDELAYTIME=ComBuf[3]; </p><p><b> P1_1=0;</b>&
102、lt;/p><p> while(TempVol*0.0048*AD_VOL_PER>=TEST_CAP_OUT_VALUE)/ { </p><p> ADCLK=ADOUT=0; </p><p><b> Vol=0; </b></p><p><b> ADCS=0; </b>&l
103、t;/p><p> for(i=1;i<=10;i++) </p><p><b> ADCLK=1; </b></p><p><b> Vol<<=1; </b></p><p> if(ADOUT)Vol|=0x01; </p><p><b
104、> ADCLK=0; </b></p><p><b> ADCS=1; </b></p><p> delay(21); </p><p><b> P2=0xff;</b></p><p><b> Count++;</b></p>
105、<p> ComBuf[0]=0x05;</p><p><b> }</b></p><p> if(Count>2)TempVol=Vol; </p><p> Convert_AD_VOL_ValueToChar(Vol);</p><p> Pluckdelay(CAPDELAYTIM
106、E); } </p><p><b> P1=0xff;</b></p><p> ComBuf[0]=0x0b; </p><p> temp1=Count/1000;</p><p> ComBuf[1]=temp1; </p><p> temp2=Count/10-temp1*1
107、00;</p><p> ComBuf[2]=temp2; </p><p> ComBuf[3]=Count-(temp1*1000+temp2*10); </p><p> SendByteArray()</p><p><b> } </b></p><p> void Write
108、AT24C04() </p><p><b> { </b></p><p> uchar address,RomData; </p><p> address=ComBuf[1]; </p><p> RomData=ComBuf[2]; </p><p> WriteByte_24c
109、04(RomData,address); </p><p><b> } </b></p><p> void ReadAT24C04() </p><p><b> { </b></p><p> ComBuf[2]=ReadByte_24c04(ComBuf[1]); </p>
110、;<p> SendByteArray();} </p><p> void watchdog() *//看門狗設(shè)置 </p><p><b> { </b></p><p> WDTRST=0x1E; </p><p> WDTRST=0xE1;//喂狗指令 </p><p
111、> TL1=0xfd; </p><p> TH1=0xfd; </p><p> SCON=0xd8; </p><p> PCON=0x80; </p><p><b> TR1=1; </b></p><p> TH0=(65536-4000)/256; </p>
112、;<p> TL0=(65536-4000)%256; </p><p><b> ET0=1; </b></p><p> EA=1;//中斷允許 </p><p><b> while(1) </b></p><p> WaitComm();</p><
113、;p><b> }</b></p><p> void WriteAT24C04() </p><p><b> { </b></p><p> uchar address,RomData; </p><p> address=ComBuf[1]; </p><p
114、> RomData=ComBuf[2]; </p><p> WriteByte_24c04(RomData,address); </p><p><b> } </b></p><p> void ReadAT24C04() </p><p><b> { </b></p&g
115、t;<p> ComBuf[2]=ReadByte_24c04(ComBuf[1]); </p><p> SendByteArray();}</p><p><b> }</b></p><p><b> 參 考 文 獻</b></p><p> [1]顏苗;翁海娜;謝英;
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120、感器技術(shù);2005年03期</p><p> [11]楊華波;慣性測量系統(tǒng)誤差標定及分離技術(shù)研究[D];國防科學技術(shù)大學;2008年</p><p> [12] 劉錚;UKF算法及其改進算法的研究[D];中南大學;2009年</p><p> [13] 李東明;捷聯(lián)式慣導系統(tǒng)初始對準方法研究[D];哈爾濱工程大學;2006年</p><p&
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