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1、本文首先對(duì)包括點(diǎn)膠技術(shù)在內(nèi)的半導(dǎo)體封裝過(guò)程的研究發(fā)展情況進(jìn)行了綜述。對(duì)當(dāng)前的半導(dǎo)體封裝技術(shù)的發(fā)展、主要的封裝過(guò)程等進(jìn)行了介紹。其次對(duì)點(diǎn)膠過(guò)程建立了一個(gè)物理上準(zhǔn)確、數(shù)學(xué)上簡(jiǎn)潔的近似過(guò)程模型。首先針對(duì)點(diǎn)膠過(guò)程的氣動(dòng)系統(tǒng)中的非線性、連接氣管、試管腔的動(dòng)態(tài)特性,對(duì)氣動(dòng)系統(tǒng)建立了一個(gè)過(guò)程模型。然后針對(duì)一類復(fù)雜的非牛頓流體,采用有限元方法對(duì)其建模分析,得到的結(jié)果可以為進(jìn)一步的簡(jiǎn)化解析建模提供參考。最后對(duì)描述流體運(yùn)動(dòng)的非線性偏微分方程采用了解析方法
2、建模,通過(guò)合理選擇基函數(shù)并采用譜方法求解,結(jié)果推導(dǎo)出了一個(gè)近似的流體運(yùn)動(dòng)模型。最后將氣動(dòng)系統(tǒng)模型和膠體流動(dòng)模型進(jìn)行集成,就得到了一個(gè)簡(jiǎn)單有效的工業(yè)點(diǎn)膠過(guò)程物理模型。然后基于所建立的點(diǎn)膠過(guò)程模型來(lái)對(duì)點(diǎn)膠過(guò)程設(shè)計(jì)出了一套批量控制方案。由于過(guò)程的物理模型難以直接應(yīng)用于控制器設(shè)計(jì),因此首先基于ANFIS模糊建模系統(tǒng)對(duì)過(guò)程進(jìn)行了簡(jiǎn)化,結(jié)果得到了面向控制的分段線性系統(tǒng)模型。其次,根據(jù)該面向控制的近似過(guò)程模型,設(shè)計(jì)出了EWMA控制方案并對(duì)穩(wěn)定性進(jìn)行
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