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文檔簡介
1、本課題主要研究采用MEMS體硅加工工藝在硅片上設計并制作成功了一種適用于直接式汽車輪胎胎壓監(jiān)測系統(tǒng)的壓力傳感器——X型硅壓阻式壓力傳感器，不同于目前國外各種直接型TPMS系統(tǒng)中胎壓監(jiān)測單元。并且對該X型硅壓阻式壓力傳感器樣品進行了特性測試和計算，給出實驗結(jié)果與相應的實驗曲線。實驗結(jié)果表明該傳感器線性度為±0.1269，0F.S、靈敏度為24.0。78mV/bar、重復特性為±0.212％F·S、遲滯為±0.090％F.S、精度為0.26
2、3％F·S。X型硅壓阻式壓力傳感器避免了惠斯通電橋的四個橋臂電阻的不匹配所產(chǎn)生的誤差，所以該壓力傳感器的零位輸出不大。從而證明該X型硅壓阻式壓力傳感器設計、制作方案完全可行。 同時，本文在研究國外現(xiàn)有直接式TPMS解決方案的基礎(chǔ)上，結(jié)合當今流行直接式TPMS系統(tǒng)設計特點，提出一種新型的直接式TPMS系統(tǒng)解決方案。在本TPMS系統(tǒng)解決方案中，輪胎壓力傳感器選用英飛凌公司的SP12，射頻IC芯片選用Nordic公司的nRF905，利
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