基于真空機器人的直驅(qū)電機控制方法的研究.pdf

1、當(dāng)今世界，一個國家半導(dǎo)體行業(yè)的先進程度顯示了這個國家高新技術(shù)的先進程度。而用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的真空機器人（真空機械手）負(fù)責(zé)在不同的生產(chǎn)工序（各制造腔體）中搬運晶圓的任務(wù)，作用不可或缺。目前國外對真空機械手進行技術(shù)封鎖，我國真空機械手研究嚴(yán)重滯后。而在真空機械手的真空腔內(nèi)，為了達到高精度、高速度、無污染、免維護的要求，首先需要減小占用的空間，其次需要簡化傳動機構(gòu)以減小累積誤差，這樣使用帶有減速箱的電機就不能滿足要求，這就提出了對直接驅(qū)動方式的

2、要求。
　　 由于直接驅(qū)動方式減去了中間傳動機構(gòu)，不僅提高了系統(tǒng)的機械剛度，也消除了機械因素對速度和加速度的限制，這是有可能獲得比原來更高的定位精度和更好的動態(tài)性能。但是，直接驅(qū)動也同時存在缺點，首先，需要高精度的電機與位置傳感器，系統(tǒng)成本高；其次，中間環(huán)節(jié)的取消后，系統(tǒng)對外部干擾和負(fù)載擾動更敏感。因此，直接驅(qū)動對控制系統(tǒng)提出了更高的要求：要求控制系統(tǒng)具有很強的抗擾動能力。
　　 本論文對真空機械手所使用的永磁同步直驅(qū)電